基于SOI的电容式微加速度计的建模及系统级仿真分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-15页 |
| ·国内外发展概述 | 第10-12页 |
| ·应用 | 第12-13页 |
| ·分类和特点 | 第13-15页 |
| ·本文研究主要内容 | 第15-17页 |
| 第二章 电容式微加速度计的理论基础 | 第17-34页 |
| ·SOI材料及加工工艺技术 | 第17-19页 |
| ·电容式微加速度计的基本原理 | 第19-20页 |
| ·传感器结构及工作原理 | 第20-27页 |
| ·传感器工作原理 | 第20-22页 |
| ·弹性梁模型与计算 | 第22-26页 |
| ·阻尼和布朗噪声 | 第26-27页 |
| ·传感器的电容检测和静电驱动 | 第27-33页 |
| ·电容检测原理 | 第27-30页 |
| ·驱动原理 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 电容式微加速度计传感器的结构设计与分析 | 第34-44页 |
| ·传感器模型建立 | 第34-37页 |
| ·静力分析 | 第37-40页 |
| ·线性度分析 | 第38-39页 |
| ·最大载荷分析 | 第39-40页 |
| ·模态分析 | 第40-41页 |
| ·平板电容器的电容值分析 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 静电力对电容式微加速度计的影响 | 第44-53页 |
| ·开环系统 | 第44-47页 |
| ·闭环系统 | 第47-51页 |
| ·静电软化现象 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 电容式微加速度计系统级仿真分析 | 第53-74页 |
| ·开环电容式微加速度计系统仿真分析 | 第53-59页 |
| ·开环电容式微加速度计系统建模 | 第53-57页 |
| ·开环电容式微加速度计特性分析 | 第57-59页 |
| ·闭环电容式微加速度计系统仿真分析 | 第59-72页 |
| ·闭环检测电路方案的确定 | 第60-62页 |
| ·控制电路设计与分析 | 第62-67页 |
| ·闭环电容式微加速度计特性分析 | 第67-72页 |
| ·本章小结 | 第72-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| ·全文总结 | 第74-75页 |
| ·工作展望 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第81-82页 |
