| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-15页 |
| ·选题的科学依据 | 第10-11页 |
| ·课题的提出 | 第10-11页 |
| ·课题的来源 | 第11页 |
| ·国内外相关技术的发展现状 | 第11-14页 |
| ·本文的主要工作 | 第14-15页 |
| 2 电镀砂轮脉冲电化学工艺的试验研究 | 第15-31页 |
| ·脉冲电镀的基本原理 | 第15-17页 |
| ·脉冲电镀工艺参数及其优化 | 第17-26页 |
| ·脉冲电镀工艺参数 | 第17页 |
| ·正交试验设计及脉冲电镀工艺参数的优化 | 第17-24页 |
| ·工艺参数对镀层表面形貌的影响 | 第24-26页 |
| ·脉冲电镀与直流电镀的性能比较 | 第26-29页 |
| ·脉冲镀与直流镀对电化学极化过电位影响 | 第26-27页 |
| ·镀层硬度比较 | 第27-28页 |
| ·电镀效率比较 | 第28-29页 |
| ·表面形貌比较 | 第29页 |
| ·小结 | 第29-31页 |
| 3 基于激光切割技术的磨料可控排布电镀砂轮掩膜制作技术的研究 | 第31-51页 |
| ·激光切割基本原理与试验条件 | 第31-34页 |
| ·激光切割的基本原理 | 第31-33页 |
| ·试验设备与试验材料 | 第33-34页 |
| ·激光切割工艺参数 | 第34-37页 |
| ·工艺参数对不同掩膜切割质量的影响 | 第37-46页 |
| ·掩膜切割质量的评价 | 第37-39页 |
| ·激光功率对掩膜切割质量的影响 | 第39-42页 |
| ·切割速度对掩膜切割质量的影响 | 第42-44页 |
| ·离焦量对掩膜切割质量的影响 | 第44-46页 |
| ·掩膜图案的设计与制备 | 第46-50页 |
| ·激光切割微小孔 | 第46-48页 |
| ·切割路径的设计 | 第48-49页 |
| ·掩膜的制作 | 第49-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 4 基于丝网印刷技术的磨料可控排布电镀砂轮掩膜制作技术研究 | 第51-58页 |
| ·丝网印刷原理与特点 | 第51-52页 |
| ·丝网印刷原理 | 第51-52页 |
| ·丝网印刷特点 | 第52页 |
| ·平面丝网印刷掩膜的制作 | 第52-55页 |
| ·油墨的选择 | 第52-53页 |
| ·制作掩膜的工艺流程 | 第53页 |
| ·结果与讨论 | 第53-55页 |
| ·曲面丝网印刷掩膜的制作 | 第55-57页 |
| ·平网曲面丝网印刷原理 | 第55-56页 |
| ·曲面印刷支承装置的设计 | 第56-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 5 磨料多层可控排布电镀砂轮的工艺试验研究 | 第58-71页 |
| ·电镀工艺条件 | 第58页 |
| ·电镀砂轮的结构设计 | 第58-59页 |
| ·磨料多层可控排布电镀砂轮的工艺试验 | 第59-68页 |
| ·超硬磨料的表面处理 | 第59-60页 |
| ·基体的表面处理 | 第60-63页 |
| ·掩膜涂敷及基体空镀 | 第63-65页 |
| ·上砂及加厚 | 第65-68页 |
| ·后处理 | 第68页 |
| ·电镀砂轮性能的分析 | 第68-70页 |
| ·砂轮表面形貌观测 | 第68-70页 |
| ·磨料固结强度的检测 | 第70页 |
| ·小结 | 第70-71页 |
| 6 结论与展望 | 第71-73页 |
| ·结论 | 第71-72页 |
| ·展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第78页 |