| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·研究目的及意义 | 第9-11页 |
| ·微机械(MEMS)谐振器/滤波器 | 第11-15页 |
| ·微机电系统(MEMS)的发展史 | 第11-12页 |
| ·微机电系统(MEMS)的制作加工 | 第12页 |
| ·微机械谐振器/滤波器(MEMS)的研究概况 | 第12-15页 |
| ·论文组织 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 第2章 微机械谐振器/滤波器的设计理论 | 第17-32页 |
| ·微机械谐振器/滤波器设计基础 | 第17-21页 |
| ·模拟滤波器的设计 | 第17-18页 |
| ·机械滤波器的特性及应用 | 第18-20页 |
| ·常规微机械谐振器/滤波器的设计 | 第20-21页 |
| ·硅微机械谐振器/滤波器振动模型 | 第21-26页 |
| ·硅微机械谐振器/滤波器物理模型 | 第21-23页 |
| ·硅微机械谐振器/滤波器的静电驱动力模型 | 第23-24页 |
| ·谐振梳弹性系统的固有频率 | 第24-25页 |
| ·两振动自由度滤波器的振动方程 | 第25-26页 |
| ·硅微机械谐振器/滤波器的基本设计方法 | 第26-29页 |
| ·硅微机械谐振器/滤波器的几何参数与性能指标的关系 | 第26-27页 |
| ·硅微机械谐振器/滤波器设计相关参数的讨论 | 第27-29页 |
| ·高阶硅微机械谐振器/滤波器 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 两自由度微机械滤波器通带波形分析 | 第32-42页 |
| ·单振动自由度的谐振器/滤波器传递函数模型 | 第32-35页 |
| ·微机械二自由度谐振滤波器的传递函数分析 | 第35-36页 |
| ·微机械二自由度谐振滤波器的3dB 带宽近似计算公式的推导 | 第36-38页 |
| ·设计实例 | 第38-41页 |
| ·设计实例的理论计算方法与传统计算方法的对比 | 第38-40页 |
| ·多组微谐振滤波器的理论公式与传统设计的对比分析 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 考虑微加工误差的微机械谐振器/滤波器结构鲁棒设计 | 第42-53页 |
| ·硅微机械滤波器振动模型及固有频率对工艺误差的灵敏度分析 | 第42-44页 |
| ·微机械谐振器/滤波器结构鲁棒设计 | 第44-47页 |
| ·矩形振子结构鲁棒设计方法 | 第44-46页 |
| ·正方形振子的结构鲁棒设计方法 | 第46-47页 |
| ·设计实例 | 第47-49页 |
| ·矩形振子的鲁棒设计 | 第47-48页 |
| ·正方形振子的鲁棒设计 | 第48-49页 |
| ·微机械谐振器/滤波器的有限元分析 | 第49-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 总结与展望 | 第53-55页 |
| ·论文总结 | 第53页 |
| ·展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 附录1 MATLAB 检验程序 | 第60-62页 |
| 附录2. 矩形振子的模态振型图 | 第62-65页 |
| 作者简介 | 第65页 |
