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YIG介质薄膜移相器的研制

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-8页
第一章 引言第8-20页
   ·绪论第8-10页
   ·相控阵天线的相位扫描法基本原理第10-12页
   ·移相器分类及工作原理第12-17页
     ·铁氧体移相器第13-14页
     ·半导体PIN 二极管移相器第14页
     ·砷化镓MMIC 移相器第14-15页
     ·MEMS 移相器第15-16页
     ·铁电介质移相器第16-17页
   ·微波移相器的技术指标第17-18页
   ·本课题主要研究内容第18-20页
第二章 YIG 材料与薄膜的制备与分析第20-34页
   ·YIG 材料综述第20-21页
   ·YIG 材料合成方法概述第21-23页
     ·固相反应合成YIG 材料第21页
     ·共沉淀法合成YIG 材料第21-23页
       ·溶度积原理第21-22页
       ·共沉淀法的优点第22-23页
   ·YIG 原料溶液的配制第23-25页
     ·铁、钇溶液的配制第23页
     ·铁、钇溶液浓度的标定第23-25页
       ·EDTA 的配制第23-24页
       ·EDTA 滴定法测定Fe~3+、Y~3+的浓度第24-25页
   ·共沉淀法合成YIG 材料的工艺第25-27页
     ·原料的配比第26页
     ·共沉淀第26页
     ·洗涤第26页
     ·烘干、研细第26页
     ·烧结第26-27页
   ·共沉淀法制备的YIG 材料的结果与讨论第27-32页
     ·PH 值对YIG 相合成的影响第28-29页
     ·共沉速度对YIG 相合成的影响第29页
     ·烧结温度对YIG 相合成的影响第29-30页
     ·组分配比对YIG 合成的影响第30-31页
     ·保温时间对YIG 合成的影响第31-32页
   ·YIG 薄膜的制备与分析第32-34页
第三章 YIG 介质薄膜移相器的设计第34-44页
   ·介质移相器基本结构与原理第34-35页
   ·分布式电容负载结构介质移相器的参数计算第35-41页
     ·采用共面波导结构的优点第36页
     ·有限尺寸介质基片的共面波导的计算第36-39页
     ·分布参数介质移相器特性参数的计算第39-41页
   ·YIG 介质薄膜移相器的材料选择和尺寸计算第41-44页
     ·基片材料的选择第41-42页
     ·共面波导的导带厚度第42页
     ·共面波导的中心导带宽度第42-43页
     ·YIG 介质电容的间距第43-44页
第四章 YIG 介质薄膜移相器的仿真与分析第44-50页
第五章 YIG 介质薄膜移相器的制作与测试第50-59页
   ·共面波导的制作第50页
   ·YIG 介质薄膜电容的制作第50-52页
   ·测试腔体的制作第52页
   ·移相器的测试结果第52-57页
   ·存在的问题及今后的研究方向第57-59页
第六章 结论第59-60页
致谢第60-61页
参考文献第61-64页
附录第64-66页
作者简介第66页

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