| 目录 | 第1-4页 |
| 中文摘要 | 第4-8页 |
| 第一篇 引言 | 第8-20页 |
| 1 功能梯度材料的研究进展 | 第8-14页 |
| 2 化学气相沉积(CVD)和金属有机气相沉积(MOCVD)的研究和发展 | 第14-16页 |
| 3 Fe(CO)_5、Mo(CO)_6化学气相沉积的成膜机制和成膜最佳工艺条件 | 第16页 |
| 4 本文研究的主要内容、目的和意义 | 第16-18页 |
| 5 本项研究采用的实验装置和工艺流程 | 第18-20页 |
| 第二篇 化学气相沉积(CVD)法制备SiO_2薄膜工艺条件的研究 | 第20-26页 |
| 1 工艺过程及膜的制备 | 第20-22页 |
| ·样品的制备 | 第20页 |
| ·薄膜的表征 | 第20-22页 |
| 2 不同实验条件对SiO_2薄膜沉积速率的影响 | 第22-25页 |
| ·正硅酸乙酯的热力学性质与成核机理 | 第22-23页 |
| ·基片温度对TEOS气相沉积膜结构的影响 | 第23-24页 |
| ·TEOS温度对SiO_2膜沉积速率的影响 | 第24-25页 |
| ·沉积时间对SiO_2膜沉积速率的影响 | 第25页 |
| ·SiO_2膜的物相、元素成分和显微结构 | 第25页 |
| 3 本篇小结 | 第25-26页 |
| 第三篇 MOCVD法制备Fe／Mo功能梯度材料的研究 | 第26-35页 |
| 1 功能梯度材料的优化设计 | 第26-28页 |
| ·分析模型与成分设计 | 第26-27页 |
| ·材料的物性计算 | 第27-28页 |
| 2 梯度材料的制备 | 第28-29页 |
| 3 试样的测定 | 第29页 |
| 4 梯度薄膜的成分、物相、表面形貌和厚度分析 | 第29-34页 |
| ·功能梯度材料成分的XPS分析 | 第29-31页 |
| ·功能梯度材料的物相分析 | 第31-32页 |
| ·功能梯度材料的表面形貌观测 | 第32-33页 |
| ·功能梯度材料的厚度分析 | 第33-34页 |
| 5 功能梯度材料的物性评价 | 第34页 |
| 6 本篇小结 | 第34-35页 |
| 第四篇 MOCVD法制备金属-陶瓷功能梯度材料的研究 | 第35-49页 |
| 1 MOCVD法制备Mo／SiO_2功能梯度材料的研究 | 第35-43页 |
| ·分析模型和成分设计 | 第35-36页 |
| ·材料的物性计算 | 第36-37页 |
| ·热应力模型的建立 | 第37-38页 |
| ·梯度材料的制备 | 第38-39页 |
| ·试样的测定 | 第39页 |
| ·结果与讨论 | 第39-43页 |
| ·原材料的选择 | 第39-40页 |
| ·功能梯度材料成分的XPS分析 | 第40-42页 |
| ·功能梯度材料的物相分析 | 第42-43页 |
| ·功能梯度材料的表面形貌观测 | 第43页 |
| ·功能梯度材料的物性评价 | 第43页 |
| 2 MOCVD法制备Mo／TiO_2功能梯度材料的研究 | 第43-48页 |
| ·Mo／TiO_2功能梯度材料的现代化设计 | 第43-46页 |
| ·实验及测试结果 | 第46页 |
| ·样品的制备 | 第46页 |
| ·试样的测定 | 第46页 |
| ·结果讨论 | 第46-48页 |
| 3 本篇小结 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 附录: 发表论文情况 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53页 |
