提高SPM检测表面形貌精度的研究
| 第1章 绪论 | 第1-17页 |
| ·扫描探针显微镜(SPM) | 第5-7页 |
| ·超精密加工表面形貌的检测技术 | 第7-13页 |
| ·超精密表面检测技术的现状 | 第7-8页 |
| ·国内外表面形貌测量技术的新发展 | 第8-10页 |
| ·目前常用表面形貌的测量仪 | 第10-13页 |
| ·SPM在超精密加工中的应用研究现状 | 第13-15页 |
| ·课题的研究意义和主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 影响SPM测量精度的误差分析 | 第17-34页 |
| ·扫描器的压电误差 | 第18-23页 |
| ·非线性造成的扫描器运动误差 | 第18-19页 |
| ·滞后造成的扫描器运动误差 | 第19-20页 |
| ·蠕变造成的扫描器运动误差 | 第20-23页 |
| ·扫描器的结构误差 | 第23-26页 |
| ·交叉耦合误差 | 第23-25页 |
| ·非正交误差 | 第25-26页 |
| ·测量系统的结构误差 | 第26页 |
| ·针尖几何形状对测量结果的影响 | 第26-27页 |
| ·外界振动对SPM测量精度的影响 | 第27-33页 |
| ·理论模型 | 第29-30页 |
| ·对比实验分析 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 小波变换在SPM 图像处理中的应用研究 | 第34-45页 |
| ·小波变换的基本原理 | 第34-38页 |
| ·二维正交小波变换 | 第36页 |
| ·图像的多分辨分解与重构算法 | 第36-37页 |
| ·小波基的选取 | 第37-38页 |
| ·线扫描信号的降噪分析 | 第38-41页 |
| ·小波变换在SPM图像处理中的应用 | 第41-44页 |
| ·扫描图像降噪 | 第41-42页 |
| ·扫描图像增强 | 第42-43页 |
| ·扫描图像融合 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 基于小波变换的超精密加工表面分形特性 | 第45-59页 |
| ·分形表面特性 | 第45-48页 |
| ·分形几何理论模型 | 第46-47页 |
| ·粗糙表面分形维数的物理意义 | 第47-48页 |
| ·分形维数的计算方法 | 第48-54页 |
| ·小波变换方法 | 第48-50页 |
| ·表面形貌的模拟 | 第50-51页 |
| ·计算方法的验证 | 第51-52页 |
| ·计算结果比较 | 第52-54页 |
| ·试验与分析 | 第54-58页 |
| ·主轴转速的影响 | 第54-55页 |
| ·主轴偏心的影响 | 第55页 |
| ·抛光时间的影响 | 第55-56页 |
| ·分形维数D与算术平均偏差Ra的关系 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第66-67页 |
| 摘要 | 第67-70页 |
| ABSTRACAT | 第70-74页 |
