超细颗粒膜包覆技术及装置研究——流化床喷雾热解法和流化床化学气相沉积法
摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-7页 |
1 引言 | 第7-19页 |
·超细颗粒表面包膜的目的 | 第7-8页 |
·基片表面成膜技术 | 第8-10页 |
·基片表面成膜技术的分类 | 第8-9页 |
·SP法 | 第9页 |
·CVD法 | 第9-10页 |
·颗粒包膜方法 | 第10-14页 |
·溶液法 | 第10-11页 |
·固相法 | 第11页 |
·气相法 | 第11-14页 |
·颗粒流态化基础知识 | 第14-18页 |
·流态化形成的条件 | 第15-16页 |
·流化质量、散式与聚式流态化 | 第16-17页 |
·颗粒的分类 | 第17-18页 |
·本文研究的意义和内容 | 第18-19页 |
2 流化床SP法颗粒包膜 | 第19-32页 |
·原理 | 第19-21页 |
·装置设计 | 第21-24页 |
·设计背景 | 第21-22页 |
·设计要求 | 第22页 |
·设计方案 | 第22-24页 |
·总装配图 | 第24页 |
·实验范例 | 第24-27页 |
·实验原料 | 第24-26页 |
·实验方法 | 第26-27页 |
·结果与讨论 | 第27-31页 |
·气固分离器的工作效果 | 第27页 |
·颗粒循环控制系统的工作效果 | 第27页 |
·喷雾效果 | 第27-28页 |
·包膜效果 | 第28-29页 |
·实验改进方案 | 第29-31页 |
·本章小结 | 第31-32页 |
3 流化床CVD法 | 第32-47页 |
·原理 | 第32-33页 |
·化学原理 | 第32页 |
·沉积过程的动力学概述 | 第32-33页 |
·装置设计 | 第33-36页 |
·设计背景 | 第33-35页 |
·设计要求 | 第35页 |
·设计方案 | 第35-36页 |
·总装配图 | 第36页 |
·实验范例 | 第36-38页 |
·实验原料 | 第36-37页 |
·实验方法 | 第37-38页 |
·结果与讨论 | 第38-46页 |
·进气位置 | 第38页 |
·流化气预热温度 | 第38-39页 |
·包膜效果 | 第39-44页 |
·操作参数的初步探索结果 | 第44-46页 |
·本章小结 | 第46-47页 |
结论 | 第47-48页 |
致谢 | 第48-49页 |
参考文献 | 第49-52页 |
附录 | 第52-53页 |