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化学气相沉积法制备MgB2超导薄膜

中文摘要第1-5页
英文摘要第5-6页
符号及缩写注释表第6-9页
第1章 绪论第9-27页
 1.1 超导基本知识回顾第9-10页
  1.1.1 超导研究的诞生第9页
  1.1.2 超导体的基本性质第9页
  1.1.3 超导微观理论第9-10页
 1.2 超导材料发展历史简介第10-11页
 1.3 MgB_2超导电性的发现及新一轮超导研究热潮的兴起第11-12页
 1.4 MgB_2研究综述第12-25页
  1.4.1 超导机理研究第12-14页
  1.4.2 高压对MgB_2超导性能的影响第14-15页
  1.4.3 化学掺杂对MgB_2超导性能的影响第15-16页
  1.4.4 薄膜制备第16-22页
  1.4.5 线材和带材制备第22-24页
  1.4.6 相关超导体的发现第24-25页
 1.5 本论文工作的出发点和意义及主要内容第25-27页
第2章 实验设备及薄膜分析方法第27-33页
 2.1 热丝CVD设备简介第27-29页
 2.2 真空蒸发镀膜简介第29-31页
 2.3 退火炉简介第31-32页
 2.4 薄膜分析方法第32页
  2.4.1 X射线衍射分析第32页
  2.4.2 成分分析第32页
  2.4.3 扫描电子显微分析第32页
  2.4.4 超导临界转变温度Tc的测量第32页
 2.5 本章小结第32-33页
第3章 实验方法及过程第33-41页
 3.1 制备MgB_2超导薄膜的热力学理论指导第33-34页
 3.2 实验的前期准备工作第34-36页
  3.2.1 原材料的选取第34-35页
  3.2.2 载流气体的选择第35页
  3.2.3 基片的选择第35-36页
 3.3 实验参数的初步探索第36-37页
  3.3.1 前驱物硼(B)膜的沉积第36页
  3.3.2 Mg的蒸发温度第36-37页
 3.4 原位法制备MgB_2薄膜第37-38页
 3.5 非原位法制备MgB_2薄膜第38-40页
 3.6 本章小结第40-41页
第4章 实验结果分析与讨论第41-61页
 4.1 原位法制备的MgB_2超导薄膜分析第41-53页
  4.1.1 HFCVD原位制备的MgB_2超导薄膜分析第41-49页
  4.1.2 HPCVD原位制备的MgB_2超导薄膜分析第49-53页
 4.2 非原位法制备MgB_2薄膜第53-60页
  4.2.1 前驱物B膜的相分析和表面形貌分析第53-55页
  4.2.2 600 ℃制备的B膜的非原位退火结果第55-56页
  4.2.3 300 ℃制备的B膜的非原位退火结果第56-60页
 4.3 本章小结第60-61页
结论第61-62页
参考文献第62-68页
攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果第68-69页
致谢第69-70页
作者简介第70页

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