电迁移引致薄膜导线力电失效的研究

中文摘要	第1-3页
英文摘要	第3-4页
目录	第4-6页
第一章 引言	第6-19页
·微电子元器件的可靠性	第6-7页
·薄膜导线中的诸类质量输运过程	第7-9页
·电迁移引致的薄膜导线失效	第9-10页
·电迁移研究概述	第10-16页
·细观力电耦合破坏研究	第16页
·本文主要工作	第16-19页
第二章 薄膜导线损伤形核的理论研究	第19-46页
·弹性介质中一段孤立界面上由电迁移引起的损伤形核	第19-33页
·数学模型	第19-23页
·界面质量堆积端前方的裂纹形核	第23-25页
·界面质量抽取端内部的孔洞形核	第25-33页
·电迁移下表面形貌演化引致的薄膜导线的损伤	第33-46页
·表面形貌小扰动下的电场	第33-38页
·薄膜导线表面损伤的形核及演化过程	第38-43页
·讨论	第43-46页
第三章 孔洞在电迁移下行为的数值研究	第46-98页
·表面电迁移的数学描述	第46-51页
·恒电场方程及其边界条件	第51-56页
·边界元法计算稳态电场	第56-70页
·边界积分方程及其离散化	第56-60页
·电场数值计算方案	第60-70页
·电迁移及表面扩散的数值计算	第70-72页
·电迁移下孔洞漂移及形状演化过程数值模拟的结果	第72-98页
第四章 电迁移下薄膜导线损伤、失效的实验研究	第98-129页
·概述	第98-103页
·导线的表面形貌损伤	第103页
·导线局部的沿晶界失稳生长	第103-108页
·电迁移下导线的塑性变形	第108-129页
论文工作总结	第129-132页
参考文献	第132-138页
致谢	第138页