基于小数重合法自动测量高等级量块技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| ·课题的研究背景 | 第7页 |
| ·量块的准确度等级 | 第7-8页 |
| ·量块测试方法及发展 | 第8-12页 |
| ·绝对测量 | 第8-11页 |
| ·相对测量 | 第11-12页 |
| ·国外量块测试技术发展 | 第12页 |
| ·本论文主要研究工作 | 第12-14页 |
| 2 量块长度的绝对测量系统 | 第14-27页 |
| ·光波干涉测量方法 | 第14-17页 |
| ·迈克尔逊结构的柯氏干涉仪 | 第14-15页 |
| ·单波长的小数部分测试 | 第15页 |
| ·多波长的小数重合法 | 第15-17页 |
| ·柯氏光波干涉仪的光机改进 | 第17-19页 |
| ·高稳频激光光源及其光隔离 | 第18页 |
| ·数字CCD采集光路 | 第18-19页 |
| ·量块测试环境因素的测量与修正 | 第19-24页 |
| ·环境参数的测试需求与对测量结果的修正 | 第19-21页 |
| ·温度测试仪器及其接口编程 | 第21-22页 |
| ·湿度、大气压测试仪器及其接口编程 | 第22-24页 |
| ·测试软件 | 第24-26页 |
| ·测试界面 | 第24-25页 |
| ·测试软件报表 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 小数部分自动化测试 | 第27-38页 |
| ·静态干涉图处理 | 第27-33页 |
| ·条纹法 | 第27-30页 |
| ·单帧二维FFT法 | 第30-33页 |
| ·动态干涉图处理 | 第33-36页 |
| ·虚光栅移相莫尔条纹法 | 第33-35页 |
| ·虚光栅移相莫尔条纹法范例 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 4 核心算法及其仿真 | 第38-61页 |
| ·条纹法干涉图处理关键技术 | 第38-43页 |
| ·干涉图像的预处理及截止频率的确定 | 第38-39页 |
| ·常见的低通滤波器 | 第39-41页 |
| ·干涉条纹细化 | 第41-42页 |
| ·细化后干涉条纹的二次曲线拟合 | 第42-43页 |
| ·单帧二维FFT处理关键技术 | 第43-55页 |
| ·处理流程简介 | 第44-45页 |
| ·干涉图的区域延拓 | 第45-49页 |
| ·滤波器的设计与选择 | 第49-53页 |
| ·量块和平晶区域波面统一 | 第53-55页 |
| ·软件系统框图 | 第55-59页 |
| ·仿真实验结果和数据分析 | 第59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 5 实验及数据分析 | 第61-67页 |
| ·算法实验研究 | 第61-66页 |
| ·条纹法实验过程及数据 | 第61-64页 |
| ·二维FFT实验过程及数据 | 第64-65页 |
| ·两种算法比较 | 第65-66页 |
| ·环境参数的测量及其修正值的计算 | 第66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 6 总结和展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
