| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·等离子体渗氮工艺 | 第8-10页 |
| ·活性屏渗氮工艺与原理 | 第10-13页 |
| ·本课题的研究目的和意义 | 第13-15页 |
| 2 等离子体基本原理 | 第15-24页 |
| ·等离子体中的粒子扩散 | 第15-17页 |
| ·直流辉光等离子体 | 第17-20页 |
| ·表面反应与表面动力学 | 第20-24页 |
| 3 实验方法与检测 | 第24-28页 |
| ·实验材料 | 第24页 |
| ·活性屏渗氮装置 | 第24-25页 |
| ·活性屏渗氮工艺过程 | 第25-26页 |
| ·试样检测 | 第26-28页 |
| 4 活性屏渗氮工艺中的氮传质机制 | 第28-44页 |
| ·试样渗氮总量 | 第28-30页 |
| ·氮传质原子团的表面过程 | 第30-35页 |
| ·氮传质原子团的失活反应 | 第35-36页 |
| ·氮传质原子团在正柱区中的运动 | 第36-37页 |
| ·氮传质原子团的形成 | 第37-39页 |
| ·活性屏渗氮机制对实验现象的解释 | 第39-44页 |
| 结论 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |