| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-21页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·硬质薄膜失效形式 | 第13-16页 |
| ·薄膜拉应力失效形式 | 第13页 |
| ·薄膜压应力失效形式 | 第13-16页 |
| ·划痕法测量膜/基结合力 | 第16-19页 |
| ·膜/基结合力的测量 | 第16页 |
| ·划痕法 | 第16-17页 |
| ·划痕法临界载荷的判定及其局限性 | 第17-19页 |
| ·本论文的研究目的及内容 | 第19-21页 |
| 第2章 硬质薄膜划痕失效形式及失效机理分析 | 第21-35页 |
| ·压头作用下膜/基体系应力应变分布 | 第21-24页 |
| ·半球型模型 | 第21-23页 |
| ·划痕实验有限元模拟 | 第23-24页 |
| ·划痕法膜/基体系常见失效形式 | 第24-33页 |
| ·薄膜的断裂 | 第25-28页 |
| ·薄膜的剥落 | 第28-32页 |
| ·膜/基体系内聚力失效 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第3章 Ti、TiN及Ti/TiN多层薄膜划痕实验研究 | 第35-50页 |
| ·薄膜制备及表征 | 第35-40页 |
| ·薄膜制备 | 第35-36页 |
| ·薄膜表征 | 第36-40页 |
| ·划痕实验结果及分析 | 第40-48页 |
| ·Ti/17-4PH划痕实验结果分析 | 第40-42页 |
| ·TiN/17-4PH划痕实验结果分析 | 第42-46页 |
| ·Ti/TiN多层/17-4PH划痕实验结果分析 | 第46-48页 |
| ·划痕实验小结 | 第48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第4章 膜/基体系低载荷往复滑动磨损研究 | 第50-67页 |
| ·薄膜制备及表征 | 第50-52页 |
| ·TiN薄膜划痕实验 | 第52-54页 |
| ·TiN-1#/TC4膜/基体系划痕实验 | 第52-53页 |
| ·TiN-2#/TC4膜/基体系划痕实验 | 第53-54页 |
| ·低载荷往复滑动磨损实验 | 第54-59页 |
| ·TiN薄膜弹性模量测量 | 第55-57页 |
| ·赫兹接触应力 | 第57-58页 |
| ·低载荷往复滑动磨损及实验参数的确定 | 第58-59页 |
| ·TiN低载荷往复滑动磨损实验分析 | 第59-65页 |
| ·TiN-1#/17-4PH膜/基体系低载荷往复滑动磨损实验 | 第59-62页 |
| ·TiN-1#/TC4膜/基体系低载荷往复滑动磨损实验 | 第62-63页 |
| ·TiN-2#/TC4膜/基体系低载荷往复滑动磨损实验 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 结论 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第75页 |
