用发卡共振器产生微等离子体
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 引言 | 第7-10页 |
| ·等离子体简介 | 第7页 |
| ·微等离子体的特点 | 第7-9页 |
| ·本论文的主要工作及其意义 | 第9-10页 |
| 第2章 微等离子体产生源 | 第10-27页 |
| ·气体的击穿 | 第10-17页 |
| ·直流电场气体的击穿 | 第10-13页 |
| ·交流电场气体的击穿 | 第13-16页 |
| ·其他气体击穿机制 | 第16-17页 |
| ·直流微等离子体源 | 第17-19页 |
| ·微空心阴极等离子体源 | 第19-20页 |
| ·介质阻挡微等离子体源 | 第20-21页 |
| ·电晕微等离子体源 | 第21-22页 |
| ·电容耦合微等离子体源 | 第22-23页 |
| ·电感耦合微等离子体源 | 第23-25页 |
| ·微波微等离子体源 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-27页 |
| 第3章 发卡共振器 | 第27-38页 |
| ·发卡探针的结构 | 第27-29页 |
| ·发卡探针工作原理 | 第29-33页 |
| ·模拟发卡共振器 | 第33-36页 |
| ·发卡共振器所产生的微等离子体 | 第36-38页 |
| 第4章 实验设备 | 第38-40页 |
| ·实验所用的发卡共振器 | 第38页 |
| ·实验所用的腔体 | 第38-39页 |
| ·实验所用的光学诊断设备 | 第39-40页 |
| 第5章 实验结果及讨论 | 第40-46页 |
| ·实验结果 | 第40-44页 |
| ·结果讨论 | 第44-46页 |
| 第6章 结论和展望 | 第46-48页 |
| ·结论 | 第46页 |
| ·下一步工作 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 附录A | 第51-52页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第52页 |
