基于亚波长直径氧化锌线的中红外快响应探测研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 1 引言 | 第11-21页 |
| ·红外探测器 | 第11页 |
| ·红外探测器发展历史 | 第11-14页 |
| ·红外探测器分类与比较 | 第14-21页 |
| ·红外热探测器 | 第15-18页 |
| 热电偶探测器 | 第15页 |
| 气动型红外探测器 | 第15-16页 |
| 热释电探测器 | 第16-17页 |
| 热敏电阻探测器 | 第17-18页 |
| ·红外光子探测器 | 第18-20页 |
| 光电子发射型探测器和光电导探测器 | 第18-19页 |
| 光生伏达效应 | 第19页 |
| 光磁电探测器 | 第19-20页 |
| ·超导红外探测器 | 第20-21页 |
| 2 氧化锌亚波长中红外探测器的提出 | 第21-26页 |
| ·亚波长探测器 | 第21-22页 |
| ·氧化锌材料特性 | 第22-26页 |
| 3 氧化锌线中红外探测器原理分析和设计 | 第26-35页 |
| ·半导体材料电阻特性 | 第26-31页 |
| 杂质电离 | 第27-28页 |
| 本征激发 | 第28-29页 |
| 电离杂质散射 | 第29页 |
| 晶格振动散射 | 第29-31页 |
| ·热探测器温度模型 | 第31-35页 |
| 4 氧化锌线中红外探测器制备和光路系统 | 第35-46页 |
| ·氧化锌线的生长 | 第35-38页 |
| ·氧化锌探测元件制备 | 第38-43页 |
| ·筛选氧化锌线 | 第38-39页 |
| ·制作电极 | 第39-40页 |
| ·微纳组装 | 第40页 |
| ·ZnO线与金属电极接触 | 第40-43页 |
| ·探测光源与聚焦系统 | 第43-45页 |
| ·照明系统 | 第45-46页 |
| 5 氧化锌线中红外探测器特性测试 | 第46-58页 |
| ·测试电路中噪声抑制 | 第46-47页 |
| ·氧化锌电阻随入射光功率变化特性测试 | 第47-49页 |
| ·探测器响应线性度测试 | 第49-51页 |
| ·探测器频率响应测试 | 第51-53页 |
| ·探测器气氛环境不敏感性测试及分析 | 第53-58页 |
| 总结与展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-66页 |
| 硕士期间发表论文 | 第66页 |
