| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.3 国内外微纳操控研究现状 | 第10-14页 |
| 1.4 现有微纳操控技术的缺陷 | 第14页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 主从纳米控制平台设计 | 第16-26页 |
| 2.1 系统总体结构 | 第16-17页 |
| 2.2 驱动定位装置的选择 | 第17-23页 |
| 2.2.1 压电陶瓷驱动原理 | 第18-20页 |
| 2.2.2 压电陶瓷材料特性 | 第20-22页 |
| 2.2.3 Attocube纳米定位器的控制 | 第22-23页 |
| 2.3 主从力反馈控制装置 | 第23-25页 |
| 2.3.1 Omega.3功能简介 | 第23-24页 |
| 2.3.2 Omega.3—Attocube主从控制 | 第24-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 纳米操作受力分析及操作方法研究 | 第26-33页 |
| 3.1 范德华力作用机理分析 | 第26-28页 |
| 3.2 纳米操作模型的建立 | 第28-29页 |
| 3.3 操作过程受力分析 | 第29-32页 |
| 3.3.1 探针和基底间受力仿真 | 第29-31页 |
| 3.3.2 探针与纳米线受力仿真 | 第31-32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第4章 纳米操作控制系统设计 | 第33-45页 |
| 4.1 压电陶瓷纳米操控系统建模 | 第33-36页 |
| 4.1.1 压电陶瓷驱动设计 | 第33-34页 |
| 4.1.2 压电陶瓷驱动装置建模 | 第34-36页 |
| 4.1.3 Attocube位移模型的建立 | 第36页 |
| 4.2 传统PID控制系统 | 第36-38页 |
| 4.3 模糊PID控制器设计 | 第38-44页 |
| 4.3.1 控制器结构设计 | 第38-39页 |
| 4.3.2 模糊集、论域和隶属函数的选择 | 第39-41页 |
| 4.3.3 模糊整定规则的建立 | 第41-44页 |
| 4.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第5章 纳米操作控制系统仿真及验证 | 第45-52页 |
| 5.1 控制平台性能仿真 | 第45-48页 |
| 5.2 SEM下纳米线操控实验 | 第48-51页 |
| 5.2.1 ZnO纳米线的推动实验 | 第48-50页 |
| 5.2.2 ZnO纳米线的拾取实验 | 第50-51页 |
| 5.3 实验结果分析 | 第51页 |
| 5.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |