旋转靶材绑定用Sn-Zn-In-Bi-Al合金的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 课题背景和意义 | 第8页 |
| 1.2 溅射靶材的分类及制备 | 第8-14页 |
| 1.2.1 溅射靶材的分类 | 第8-10页 |
| 1.2.2 溅射靶材的制备 | 第10-12页 |
| 1.2.3 溅射靶材的绑定方法 | 第12-13页 |
| 1.2.4 溅射靶材的应用 | 第13-14页 |
| 1.3 常用低熔点焊料合金 | 第14-16页 |
| 1.3.1 Sn-Ag系焊料合金 | 第15页 |
| 1.3.2 Sn-Bi系焊料合金 | 第15-16页 |
| 1.3.3 Sn-In系焊料合金 | 第16页 |
| 1.3.4 Sn-Cu、Sn-Sb系焊料合金 | 第16页 |
| 1.4 Sn-Zn系焊料合金的研究进展 | 第16-18页 |
| 1.4.1 Sn-Zn-Bi焊料合金 | 第16-17页 |
| 1.4.2 Sn-Zn-Al焊料合金 | 第17-18页 |
| 1.5 课题主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 实验材料、设备及方法 | 第20-27页 |
| 2.1 实验材料和设备 | 第20-21页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第20页 |
| 2.1.2 实验设备 | 第20-21页 |
| 2.2 合金成分选择及合金制备 | 第21-22页 |
| 2.2.1 合金成分选择 | 第21页 |
| 2.2.2 合金制备 | 第21-22页 |
| 2.3 合金检测分析方法 | 第22-27页 |
| 2.3.1 合金成分检测 | 第22-23页 |
| 2.3.2 相结构分析 | 第23页 |
| 2.3.3 显微组织分析 | 第23页 |
| 2.3.4 合金熔点测试 | 第23-24页 |
| 2.3.5 润湿性测试 | 第24-25页 |
| 2.3.6 电阻率测试 | 第25页 |
| 2.3.7 热导率测试 | 第25-27页 |
| 第三章 Zn含量对焊料合金组织及物理性能的影响 | 第27-38页 |
| 3.1 合金的物相组成 | 第27-28页 |
| 3.2 合金的微观组织 | 第28-30页 |
| 3.3 合金的物理性能 | 第30-35页 |
| 3.3.1 合金的熔点 | 第30-31页 |
| 3.3.2 合金的润湿性 | 第31-32页 |
| 3.3.3 合金的电阻率 | 第32-34页 |
| 3.3.4 合金的热导率 | 第34-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-38页 |
| 第四章 In含量对焊料合金组织及物理性能的影响 | 第38-48页 |
| 4.1 合金的物相组成 | 第38-39页 |
| 4.2 合金的微观组织形貌 | 第39-41页 |
| 4.3 合金的物理性能 | 第41-46页 |
| 4.3.1 合金的熔点 | 第41-43页 |
| 4.3.2 合金的润湿性 | 第43-44页 |
| 4.3.3 合金的电阻率 | 第44-45页 |
| 4.3.4 合金的热导率 | 第45-46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 第五章 Ni基体加热处理对合金润湿性的影响 | 第48-58页 |
| 5.1 旋转靶材绑定的基本过程 | 第48-49页 |
| 5.2 Ni基体250℃加热处理 | 第49-52页 |
| 5.2.1 Ni基体加热后的表面状态 | 第49-51页 |
| 5.2.2 焊料合金与加热后的Ni基体的润湿性 | 第51-52页 |
| 5.3 Ni基体300℃加热处理 | 第52-54页 |
| 5.3.1 Ni基体加热后的表面状态 | 第52-53页 |
| 5.3.2 焊料合金与加热后的Ni基体的润湿性 | 第53-54页 |
| 5.4 焊料合金与基体加热前后的界面结合 | 第54-56页 |
| 5.5 本章小结 | 第56-58页 |
| 第六章 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
