| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 GaAs基多结太阳电池及其发展 | 第10-15页 |
| 1.2.1 太阳电池工作原理 | 第10-11页 |
| 1.2.2 GaAs基太阳电池工作原理 | 第11-12页 |
| 1.2.3 GaAs基多结太阳电池的发展 | 第12-15页 |
| 1.2.3.1 GaAs基太阳电池的特点 | 第12-13页 |
| 1.2.3.2 GaAs基太阳电池的发展 | 第13-15页 |
| 1.3 减反射膜的发展及其制备方法 | 第15-22页 |
| 1.3.1 减反射膜的发展 | 第15-17页 |
| 1.3.2 减反射膜的制备方法 | 第17-22页 |
| 1.3.2.1 溶胶-凝胶法 | 第17-19页 |
| 1.3.2.2 化学气相沉积法 | 第19-20页 |
| 1.3.2.3 电子束蒸发法 | 第20-21页 |
| 1.3.2.4 磁控溅射法 | 第21-22页 |
| 1.4 选题背景及意义 | 第22-23页 |
| 1.5 研究内容 | 第23-24页 |
| 第2章 三层减反射膜系工作原理与设计优化 | 第24-37页 |
| 2.1 减反射膜的原理 | 第24-26页 |
| 2.1.1 减反射膜的原理 | 第24-26页 |
| 2.1.1.1 单层减反射膜 | 第24-25页 |
| 2.1.1.2 多层减反射膜 | 第25-26页 |
| 2.2 减反射膜材料的选择 | 第26-28页 |
| 2.3 TFCale软件的功能介绍与应用 | 第28-29页 |
| 2.3.1 TFCale软件功能简介 | 第28页 |
| 2.3.2 TFCale软件在减反射膜设计中的应用 | 第28-29页 |
| 2.4 三层减反射膜系的TFCale软件设计和优化 | 第29-36页 |
| 2.4.1 理论基础与膜层设计 | 第29-33页 |
| 2.4.2 窗口层膜层厚度对Re的影响 | 第33-34页 |
| 2.4.3 减反射膜层厚度不同对Re的影响 | 第34-35页 |
| 2.4.4 材料折射率不同对Re的影响 | 第35页 |
| 2.4.5 入射角度的不同对Re的影响 | 第35-36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 三层减反射膜系的制备与方法 | 第37-41页 |
| 3.1 磁控溅射设备及制备流程 | 第37-38页 |
| 3.1.1 双腔室真空磁控溅射成膜系统 | 第37页 |
| 3.1.2 减反射膜系的制备流程 | 第37-38页 |
| 3.1.2.1 材料的准备 | 第37页 |
| 3.1.2.2 衬底清洗 | 第37-38页 |
| 3.1.2.3 溅射镀膜 | 第38页 |
| 3.2 减反射膜的表征方法 | 第38-40页 |
| 3.2.1 X射线衍射仪 | 第38-39页 |
| 3.2.2 场发射扫描电镜 | 第39页 |
| 3.2.3 椭圆偏振光谱仪 | 第39-40页 |
| 3.2.4 分光光度计 | 第40页 |
| 3.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 三层减反射膜系的制备及其性能分析 | 第41-54页 |
| 4.1 单层减反射膜的制备与表征 | 第41-48页 |
| 4.1.1 ZnS薄膜的制备与表征 | 第41-44页 |
| 4.1.1.1 不同溅射气压下ZnS薄膜的制备与表征 | 第41-43页 |
| 4.1.1.2 不同溅射功率下ZnS薄膜的制备与表征 | 第43-44页 |
| 4.1.2 MgF_2薄膜的制备与表征 | 第44-46页 |
| 4.1.2.1 不同溅射压强下MgF_2薄膜的制备与表征 | 第44-45页 |
| 4.1.2.2 不同溅射功率下MgF_2薄膜的制备与表征 | 第45-46页 |
| 4.1.3 纳米SiO_2薄膜的制备与表征 | 第46-48页 |
| 4.1.3.1 不同溅射气压下纳米SiO_2薄膜的制备与表征 | 第46-47页 |
| 4.1.3.2 不同溅射功率下纳米SiO_2薄膜的制备与表征 | 第47-48页 |
| 4.2 三层减反射膜的制备与分析 | 第48-53页 |
| 4.2.1 不同厚度的ZnS膜层的三层减反射膜的制备与分析 | 第48-49页 |
| 4.2.2 不同厚度的MgF_2膜层的三层减反射膜的制备与分析 | 第49-51页 |
| 4.2.3 不同厚度的nano-SiO_2膜层的三层减反射膜的制备与分析 | 第51-52页 |
| 4.2.4 最优条件下三层减反射膜的制备与分析 | 第52-53页 |
| 4.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 5.1 总结 | 第54-55页 |
| 5.2 存在的问题及展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文和研究成果 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
