ECR等离子体中电离和密度均匀性的数值研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 引言 | 第9-11页 |
| 1 ECR等离子体 | 第11-22页 |
| ·ECR等离子体原理 | 第11-16页 |
| ·ECR等离子体的应用 | 第16-17页 |
| ·等离子体刻蚀 | 第16页 |
| ·薄膜制备技术 | 第16页 |
| ·离子源 | 第16-17页 |
| ·ECR等离子体的其它应用 | 第17页 |
| ·ECR等离子体的研究现状 | 第17-22页 |
| ·对ECR中离子行为的研究 | 第17-18页 |
| ·对ECR中电子行为的研究 | 第18-20页 |
| ·外部条件对ECR放电特性的影响 | 第20-22页 |
| 2 操作参数对电离和密度均匀性的影响 | 第22-40页 |
| ·研究对象 | 第22-23页 |
| ·磁场的数值模拟 | 第23-25页 |
| ·等离子体的模型 | 第25-29页 |
| ·模型的方程 | 第25-28页 |
| ·边界条件 | 第28-29页 |
| ·初始条件 | 第29页 |
| ·无量纲化 | 第29-30页 |
| ·数值方法 | 第30-32页 |
| ·有限差分法 | 第30页 |
| ·离散方程 | 第30-32页 |
| ·模拟结果 | 第32-38页 |
| ·操作参数对电离的影响 | 第33-35页 |
| ·操作参数对等离子体密度均匀性的影响 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 3 亚稳原子对电离和密度均匀性的影响 | 第40-46页 |
| ·考虑亚稳原子的ECR等离子体模型 | 第40-41页 |
| ·数值模拟结果 | 第41-45页 |
| ·亚稳原子对电离的影响 | 第41-43页 |
| ·亚稳原子对等离子体密度均匀性的影响 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 结论 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-51页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-54页 |
