| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题的来源、研究的背景与意义 | 第10页 |
| 1.2 迟滞非线性介绍 | 第10-11页 |
| 1.3 压电陶瓷材料及压电超精密定位台 | 第11-14页 |
| 1.4 国内外研究现状 | 第14-15页 |
| 1.5 本文主要研究内容及工作 | 第15-18页 |
| 第二章 迟滞非线性建模理论及控制理论 | 第18-32页 |
| 2.1 迟滞非线性建模理论 | 第18-25页 |
| 2.1.1 微分方程迟滞模型 | 第18-20页 |
| 2.1.2 算子类迟滞模型 | 第20-23页 |
| 2.1.3 其他迟滞模型 | 第23-25页 |
| 2.2 率相关性建模与动态迟滞建模 | 第25-26页 |
| 2.3 压电超精密定位台的控制方法 | 第26-29页 |
| 2.4 迟滞模型和控制策略的选择 | 第29-30页 |
| 2.5 本章总结 | 第30-32页 |
| 第三章 基于Hammerstein-Like模型的超精密定位台建模及实验 | 第32-56页 |
| 3.1 压电超精密定位台的结构与工作原理 | 第32-33页 |
| 3.2 Backlash-Like迟滞非线性模型的建立 | 第33-34页 |
| 3.3 Backlash-Like迟滞非线性模型参数的辨识 | 第34-37页 |
| 3.3.1 参数辨识理论概述 | 第35页 |
| 3.3.2 基于遗传因子的递推最小二乘法参数辨识 | 第35-37页 |
| 3.4 Hammerstein-Like率相关迟滞模型的建立 | 第37-38页 |
| 3.5 Hammerstein-Like率相关迟滞模型的参数辨识 | 第38-39页 |
| 3.6 类Hammerstein-Like模型的建立 | 第39-42页 |
| 3.7 类Hammerstein-Like模型参数的辨识 | 第42-43页 |
| 3.8 迟滞非线性模型实验研究 | 第43-55页 |
| 3.8.1 实验设备 | 第43-45页 |
| 3.8.2 实验设备的搭建 | 第45-46页 |
| 3.8.3 Hammerstein-Like模型的实验验证 | 第46-49页 |
| 3.8.4 类Hammerstein-Like模型的实验验证 | 第49-55页 |
| 3.9 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 压电超精密定位台的控制方法研究 | 第56-78页 |
| 4.1 逆模型前馈补偿控制 | 第56-61页 |
| 4.1.1 逆模型前馈补偿控制原理 | 第56-57页 |
| 4.1.2 Hammerstein-Like逆模型的建立 | 第57-58页 |
| 4.1.3 基于Hammerstein-Like模型的前馈补偿控制研究 | 第58-61页 |
| 4.2 逆模型前馈与PID反馈相结合的复合控制 | 第61-66页 |
| 4.2.1 PID反馈控制器的设计原理 | 第61-62页 |
| 4.2.2 基于Hammerstein-Like模型的PID复合控制研究 | 第62-66页 |
| 4.3 逆模型前馈与BP神经网络PID反馈相结合的复合控制 | 第66-75页 |
| 4.3.1 BP神经网络简介 | 第67页 |
| 4.3.2 逆模型前馈控制与BP神经网络PID反馈控制结合的复合控制 | 第67-71页 |
| 4.3.3 基于Hammerstein-Like模型的BP神经网络PID复合控制研究 | 第71-75页 |
| 4.4 本章总结 | 第75-78页 |
| 第五章 总结与展望 | 第78-80页 |
| 5.1 总结 | 第78-79页 |
| 5.2 展望 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-90页 |
| 附录：攻读硕士学位期间的科研成果 | 第90页 |
