| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 课题来源及研究的背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外在该方向的研究现状及分析 | 第10-12页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3 论文组织结构 | 第12-13页 |
| 第2章 精瞄微定位系统简介 | 第13-18页 |
| 2.1 精瞄偏转镜简介 | 第13-15页 |
| 2.2 精瞄微定位系统在APT系统中的工作过程 | 第15-17页 |
| 2.3 本章小结 | 第17-18页 |
| 第3章 精瞄微定位系统设计及实现 | 第18-39页 |
| 3.1 精瞄微定位控制系统简介 | 第18页 |
| 3.2 精瞄微定位系统上位机设计及实现 | 第18-24页 |
| 3.3 硬件电路设计及实现 | 第24-36页 |
| 3.3.1 硬件电路设计 | 第24-28页 |
| 3.3.2 微定位检测模块设计 | 第28-30页 |
| 3.3.3 压电陶瓷驱动模块设计 | 第30-31页 |
| 3.3.4 实测数据 | 第31-32页 |
| 3.3.5 驱动电路输出线性度和分辨率 | 第32-36页 |
| 3.4 EMC设计 | 第36-38页 |
| 3.5 精瞄电路板实物图 | 第38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 精瞄微定位系统的研究 | 第39-56页 |
| 4.1 精瞄微定位系统的工作原理 | 第39页 |
| 4.2 精瞄偏转镜的研究 | 第39-43页 |
| 4.2.1 精瞄偏转镜的结构 | 第40-41页 |
| 4.2.2 精瞄偏转镜的工作方式 | 第41-42页 |
| 4.2.3 精瞄偏转镜的工作频率 | 第42-43页 |
| 4.3 精瞄微定位系统的控制方案 | 第43-44页 |
| 4.4 压电陶瓷的非线性分析及数学建模 | 第44-51页 |
| 4.4.1 压电陶瓷的非线性分析 | 第44-46页 |
| 4.4.2 压电陶瓷迟滞特性的建模 | 第46-50页 |
| 4.4.3 压电陶瓷蠕变特性的建模 | 第50-51页 |
| 4.5 精瞄微定位系统控制算法的研究 | 第51-55页 |
| 4.5.1 数字PID控制算法 | 第51-52页 |
| 4.5.2 基于压电陶瓷模型预测前馈的分段变速积分增量式PID控制 | 第52-55页 |
| 4.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 精瞄微定位系统仿真与实物验证 | 第56-59页 |
| 5.1 MATLAB仿真 | 第56-57页 |
| 5.2 LABVIEW实时显示验证 | 第57-58页 |
| 5.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67页 |