| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2 太赫兹探测器国内外研究现状 | 第9-17页 |
| 1.2.1 相干探测技术 | 第9-10页 |
| 1.2.2 直接探测技术 | 第10-14页 |
| 1.2.3 基于石墨烯材料的太赫兹探测技术 | 第14-17页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第17页 |
| 1.4 本章小结 | 第17-18页 |
| 2 石墨烯太赫兹探测器的基本理论 | 第18-23页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 石墨烯带隙调控机理 | 第18-21页 |
| 2.2.1 双层石墨烯能隙调控 | 第19-20页 |
| 2.2.2 石墨烯纳米带能隙调控 | 第20-21页 |
| 2.3 p-i-n 结构光电探测的基本原理 | 第21-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 3 太赫兹探测器建模与结构设计 | 第23-36页 |
| 3.1 引言 | 第23页 |
| 3.2 石墨烯太赫兹探测器的数学模型 | 第23-25页 |
| 3.3 双层石墨烯太赫兹探测器 | 第25-29页 |
| 3.3.1 双层石墨烯能隙计算 | 第25-26页 |
| 3.3.2 双层石墨烯太赫兹探测的结构与工作原理 | 第26-27页 |
| 3.3.3 双层石墨烯太赫兹探测器的仿真与分析 | 第27-29页 |
| 3.4 石墨烯纳米带太赫兹探测器的设计与仿真 | 第29-35页 |
| 3.4.1 石墨烯纳米带太赫兹探测器的结构与工作原理 | 第29-30页 |
| 3.4.2 石墨烯纳米带太赫兹探测器的仿真与分析 | 第30-35页 |
| 3.5 设计结果 | 第35页 |
| 3.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 石墨烯太赫兹探测器的加工技术 | 第36-48页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 工艺流程 | 第36-37页 |
| 4.3 石墨烯纳米带 p-i-n 结构太赫兹探测器的版图设计 | 第37-39页 |
| 4.4 石墨烯纳米带刻蚀制备 | 第39-46页 |
| 4.4.1 介电泳法装配纳米线 | 第40-44页 |
| 4.4.2 石墨烯的刻蚀 | 第44-46页 |
| 4.5 石墨烯太赫兹探测器电极、栅极、绝缘层的制备 | 第46-47页 |
| 4.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 5 石墨烯太赫兹探测器的测试 | 第48-52页 |
| 5.1 引言 | 第48页 |
| 5.2 石墨烯太赫兹探测器的测试平台 | 第48-49页 |
| 5.3 Id-Vds特性曲线测试 | 第49-50页 |
| 5.4 探测器光电流测试 | 第50-51页 |
| 5.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 6 总结与展望 | 第52-54页 |
| 6.1 论文主要工作 | 第52页 |
| 6.2 进一步工作与展望 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 附录 | 第58页 |
| 作者在攻读学位期间发表的论文 | 第58页 |
