| 本文工作得到下列项目资助 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-29页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-12页 |
| 1.2 纳米压痕/刻划技术的研究现状 | 第12-18页 |
| 1.2.1 纳米压痕/刻划仪器的研制 | 第13-15页 |
| 1.2.2 纳米压痕/刻划技术的应用 | 第15-18页 |
| 1.3 影响纳米压痕/刻划的主要因素 | 第18-22页 |
| 1.4 有限元技术在纳米压痕/刻划技术上的应用 | 第22-25页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第25-27页 |
| 1.6 本章小结 | 第27-29页 |
| 第2章 纳米压痕/刻划分析理论与仿真 | 第29-47页 |
| 2.1 纳米压痕技术的理论 | 第29-37页 |
| 2.1.1 纳米压痕技术理论的发展 | 第29-32页 |
| 2.1.2 纳米压痕理论 Oliver-Pharr 法 | 第32-37页 |
| 2.2 纳米刻划技术的理论 | 第37-40页 |
| 2.2.1 纳米刻划技术理论的发展 | 第37-40页 |
| 2.2.2 纳米刻划技术的主要理论 | 第40页 |
| 2.3 纳米压痕/刻划有限元仿真理论 | 第40-44页 |
| 2.3.1 真实应力应变 | 第41-42页 |
| 2.3.2 材料的应力应变模型 | 第42-44页 |
| 2.4 纳米压痕/刻划仿真的主要步骤 | 第44-46页 |
| 2.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第3章 垂直度对纳米压痕/刻划测试影响的理论分析 | 第47-57页 |
| 3.1 垂直度对纳米压痕测试影响的理论分析 | 第47-51页 |
| 3.1.1 理论模型 | 第47-48页 |
| 3.1.2 压头绕 X 轴和 Y 轴分别倾斜时的理论分析 | 第48-50页 |
| 3.1.3 压头绕 X 轴和 Y 轴同时倾斜时的理论分析 | 第50-51页 |
| 3.2 垂直度对纳米压痕测试影响的理论分析结果讨论 | 第51-52页 |
| 3.3 垂直度对纳米刻划测试影响的理论分析 | 第52-55页 |
| 3.3.1 理论模型 | 第52-53页 |
| 3.3.2 压头绕 X 轴、Y 轴和 Z 轴分别倾斜时的刻划理论分析 | 第53-55页 |
| 3.4 垂直度对纳米刻划测试影响的理论分析结果讨论 | 第55-56页 |
| 3.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第4章 垂直度对纳米压痕测试影响的仿真分析 | 第57-67页 |
| 4.1 纳米压痕仿真模型 | 第57-59页 |
| 4.1.1 纳米压痕仿真模型的建立 | 第57-58页 |
| 4.1.2 纳米压痕仿真模型的网格划分 | 第58页 |
| 4.1.3 纳米压痕仿真模型的材料、边界和分析步设置 | 第58-59页 |
| 4.2 纳米压痕仿真结果分析 | 第59-63页 |
| 4.2.1 纳米压痕仿真的应力分布结果 | 第59-61页 |
| 4.2.2 纳米压痕仿真的位移-载荷曲线 | 第61页 |
| 4.2.3 纳米压痕仿真的弹性模量和硬度结果分析 | 第61-63页 |
| 4.3 不垂直压痕结果误差补偿研究 | 第63-66页 |
| 4.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 第5章 垂直度对纳米刻划测试影响的仿真分析 | 第67-75页 |
| 5.1 纳米划痕仿真模型 | 第67-68页 |
| 5.1.1 纳米刻划仿真模型的建立 | 第67页 |
| 5.1.2 纳米刻划仿真模型的参数设置 | 第67-68页 |
| 5.2 纳米划痕仿真的结果分析 | 第68-73页 |
| 5.2.1 纳米刻划仿真的应力分布结果 | 第68-69页 |
| 5.2.2 纳米刻划仿真的截面轮廓变化结果分析 | 第69-71页 |
| 5.2.3 纳米刻划仿真的摩擦系数分析 | 第71-73页 |
| 5.3 本章小结 | 第73-75页 |
| 第6章 结论及展望 | 第75-77页 |
| 6.1 主要结论 | 第75-76页 |
| 6.2 展望 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-83页 |
| 作者简介及攻读学位期间的论文及专利成果 | 第83-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
