| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 太阳能电池研究进展 | 第9-11页 |
| 1.3 HIT 太阳电池研究进展 | 第11-14页 |
| 2 HIT 太阳能电池简介 | 第14-19页 |
| 2.1 HIT 太阳电池基本物理理论 | 第14-15页 |
| 2.2 HIT 太阳电池主要性能指标及其影响因素 | 第15-19页 |
| 3 HIT 太阳能电池非晶硅层制备工艺研究 | 第19-41页 |
| 3.1 HIT 太阳能电池非晶硅层的基本理论 | 第19-28页 |
| 3.2 本征非晶硅层制备结果和讨论 | 第28-33页 |
| 3.3 P 层非晶硅层制备结果和讨论 | 第33-36页 |
| 3.4 氢处理时间对 HIT 太阳电池性能的影响 | 第36-37页 |
| 3.5 本征非晶硅厚度对 HIT 太阳电池性能的影响 | 第37-38页 |
| 3.6 HIT 太阳能电池非晶硅层制备工艺优化 | 第38-41页 |
| 4 HIT 太阳电池单晶硅衬底织构和圆滑工艺研究 | 第41-55页 |
| 4.1 单晶硅织构 | 第41-44页 |
| 4.2 单晶硅圆滑工艺 | 第44页 |
| 4.3 单晶硅衬底腐蚀实验及其测试结果分析 | 第44-52页 |
| 4.4 单晶硅衬底织构和圆滑工艺优化 | 第52-55页 |
| 5 总结 | 第55-57页 |
| 1. HIT 太阳能电池非晶硅层的制备工艺 | 第55-56页 |
| 2. HIT 太阳能电池单晶硅衬底织构和圆滑工艺 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第63-64页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第64页 |