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平面硅纳米线生长机理、可编程形貌调控及其可拉伸电子器件应用

摘要第4-7页
Abstract第7-9页
第一章: 绪论第12-48页
    1.1 引言第12页
    1.2 自组装硅纳米线的制备方法概述第12-17页
    1.3 复杂结构硅基纳米线的形貌控制概述第17-24页
    1.4 一维半导体硅纳米线的特性和器件应用概述第24-32页
    1.5 平面固液固硅纳米线的生长机制概述第32-36页
    1.6 本博士论文课题的主要内容第36-39页
    参考文献第39-48页
第二章: 平面硅纳米线的形貌调控——island-chain结构硅纳米线第48-68页
    2.1 引言第48-49页
    2.2 平面island-chain结构硅纳米线的制备和表征分析第49-53页
    2.3 平面island-chain结构纳米线生长动力学模型的研究第53-58页
    2.4 氢化非晶硅修饰对island-chian结构硅纳米线的形貌控制的研究第58-62页
    2.5 本章小结第62-64页
    参考文献第64-68页
第三章: 平面硅纳米线的形貌调控-zigzag形硅纳米线第68-90页
    3.1 引言第68-69页
    3.2 平面zigzag结构硅纳米线的生长制备和结构研究第69-73页
    3.3 平面zigzag结构纳米线生长机制的研究第73-79页
    3.4 平面zigzag结构纳米线力学拉伸测试第79-80页
    3.5 氢化非晶硅修饰对平面zigzag硅纳米线形貌控制的研究第80-86页
    3.6 本章小结第86-87页
    参考文献第87-90页
第四章: 平面硅纳米线的引导生长及薄膜电子器件制备研究第90-108页
    4.1 引言第90-91页
    4.2 平面硅纳米线的定位引导生长技术研究第91-101页
    4.3 基于平面硅纳米线的薄膜晶体管的制备及电学测试第101-105页
    4.4 本章小结第105-106页
    参考文献第106-108页
第五章: 平面硅纳米线阵列在可拉伸电子学的应用第108-124页
    5.1 引言第108-109页
    5.2 大面积可拉伸硅纳米线弹簧阵列的设计和制备第109-117页
    5.3 单根硅纳米弹簧线的力学拉伸和电学同步测试第117-119页
    5.4 可拉伸平面硅纳米弹簧线器件的转移第119-120页
    5.5 本章小结第120-122页
    参考文献第122-124页
第六章: 总结与展望第124-128页
    6.1 本论文工作的总结第124-126页
    6.2 本课题的展望第126-128页
在读博士期间取得的成果清单第128-134页
致谢第134-137页

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