摘要 | 第4-7页 |
Abstract | 第7-9页 |
第一章: 绪论 | 第12-48页 |
1.1 引言 | 第12页 |
1.2 自组装硅纳米线的制备方法概述 | 第12-17页 |
1.3 复杂结构硅基纳米线的形貌控制概述 | 第17-24页 |
1.4 一维半导体硅纳米线的特性和器件应用概述 | 第24-32页 |
1.5 平面固液固硅纳米线的生长机制概述 | 第32-36页 |
1.6 本博士论文课题的主要内容 | 第36-39页 |
参考文献 | 第39-48页 |
第二章: 平面硅纳米线的形貌调控——island-chain结构硅纳米线 | 第48-68页 |
2.1 引言 | 第48-49页 |
2.2 平面island-chain结构硅纳米线的制备和表征分析 | 第49-53页 |
2.3 平面island-chain结构纳米线生长动力学模型的研究 | 第53-58页 |
2.4 氢化非晶硅修饰对island-chian结构硅纳米线的形貌控制的研究 | 第58-62页 |
2.5 本章小结 | 第62-64页 |
参考文献 | 第64-68页 |
第三章: 平面硅纳米线的形貌调控-zigzag形硅纳米线 | 第68-90页 |
3.1 引言 | 第68-69页 |
3.2 平面zigzag结构硅纳米线的生长制备和结构研究 | 第69-73页 |
3.3 平面zigzag结构纳米线生长机制的研究 | 第73-79页 |
3.4 平面zigzag结构纳米线力学拉伸测试 | 第79-80页 |
3.5 氢化非晶硅修饰对平面zigzag硅纳米线形貌控制的研究 | 第80-86页 |
3.6 本章小结 | 第86-87页 |
参考文献 | 第87-90页 |
第四章: 平面硅纳米线的引导生长及薄膜电子器件制备研究 | 第90-108页 |
4.1 引言 | 第90-91页 |
4.2 平面硅纳米线的定位引导生长技术研究 | 第91-101页 |
4.3 基于平面硅纳米线的薄膜晶体管的制备及电学测试 | 第101-105页 |
4.4 本章小结 | 第105-106页 |
参考文献 | 第106-108页 |
第五章: 平面硅纳米线阵列在可拉伸电子学的应用 | 第108-124页 |
5.1 引言 | 第108-109页 |
5.2 大面积可拉伸硅纳米线弹簧阵列的设计和制备 | 第109-117页 |
5.3 单根硅纳米弹簧线的力学拉伸和电学同步测试 | 第117-119页 |
5.4 可拉伸平面硅纳米弹簧线器件的转移 | 第119-120页 |
5.5 本章小结 | 第120-122页 |
参考文献 | 第122-124页 |
第六章: 总结与展望 | 第124-128页 |
6.1 本论文工作的总结 | 第124-126页 |
6.2 本课题的展望 | 第126-128页 |
在读博士期间取得的成果清单 | 第128-134页 |
致谢 | 第134-137页 |