| 摘要 | 第6-9页 |
| ABSTRACT | 第9-12页 |
| 第1章 绪论 | 第16-34页 |
| 1.1 引言 | 第16-17页 |
| 1.2 精密驱动机构的研究概况 | 第17-19页 |
| 1.3 压电驱动机构的应用概况 | 第19-20页 |
| 1.4 压电多自由度驱动机构的研究及应用 | 第20-30页 |
| 1.4.1 多定子压电多自由度驱动机构 | 第21-22页 |
| 1.4.2 单定子压电多自由度驱动机构 | 第22-28页 |
| 1.4.3 压电多自由度驱动机构的应用 | 第28-30页 |
| 1.5 本文的选题意义和研究内容 | 第30-34页 |
| 1.5.1 选题意义 | 第30-31页 |
| 1.5.2 主要研究内容 | 第31-34页 |
| 第2章 平板形压电振子的作用机理及有限元分析 | 第34-54页 |
| 2.1 超声马达的基本原理 | 第34-37页 |
| 2.1.1 椭圆运动的形成 | 第34-36页 |
| 2.1.2 行波驱动与驻波驱动 | 第36-37页 |
| 2.2 平板形压电振子的结构及工作原理 | 第37-43页 |
| 2.2.1 平板形压电振子的结构 | 第37-38页 |
| 2.2.2 B_(32) 与B_(23) 模态下压电振子的作用机理 | 第38-39页 |
| 2.2.3 B_(43) 与B_(34) 模态下压电振子的作用机理 | 第39-40页 |
| 2.2.4 凸起端部椭圆运动的形成 | 第40-42页 |
| 2.2.5 压电振子的应用形式 | 第42-43页 |
| 2.3 平板形压电振子的有限元分析 | 第43-53页 |
| 2.3.1 压电振子有限元模型的建立 | 第43-47页 |
| 2.3.2 压电振子的振动模态分析 | 第47-49页 |
| 2.3.3 压电振子作用机理的瞬态分析 | 第49-53页 |
| 2.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第3章 平板形压电振子的振动解析 | 第54-73页 |
| 3.1 压电振子的振动频率方程 | 第54-61页 |
| 3.1.1 压电振子物理参数的等效化 | 第54-55页 |
| 3.1.2 等效矩形板压电振子的振动频率 | 第55-59页 |
| 3.1.3 具有附加质量、附加支承的矩形板压电振子的振动频率 | 第59-61页 |
| 3.2 压电振子的弯曲振动特性 | 第61-70页 |
| 3.2.1 基本假设与定义 | 第61-62页 |
| 3.2.2 弯曲振动的理论解析式 | 第62-67页 |
| 3.2.3 压电振子的挠度计算 | 第67-70页 |
| 3.3 凸起振动状态的解析 | 第70-72页 |
| 3.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 第4章 平板形二自由度压电马达的设计及分析 | 第73-98页 |
| 4.1 压电振子的结构设计 | 第73-79页 |
| 4.1.1 长宽比的设计 | 第73-75页 |
| 4.1.2 基板厚度的设计 | 第75-76页 |
| 4.1.3 凸起间距的确定 | 第76-78页 |
| 4.1.4 凸起长宽厚 | 第78-79页 |
| 4.2 压电振子结构设计的仿真与试验验证 | 第79-87页 |
| 4.2.1 压电振子结构参数的仿真分析 | 第79-84页 |
| 4.2.2 压电振子的试验测试 | 第84-87页 |
| 4.3 压电振子设计与分析总结 | 第87-88页 |
| 4.4 二自由度压电马达的结构设计与分析 | 第88-92页 |
| 4.4.1 凸起与球体之间的接触条件 | 第88-90页 |
| 4.4.2 球形转子预紧机构的设计 | 第90-92页 |
| 4.4.3 压电陶瓷的布置与接线形式 | 第92页 |
| 4.5 定转子接触静力学分析 | 第92-97页 |
| 4.5.1 定转子间歇接触的力传递模型 | 第92-94页 |
| 4.5.2 马达的稳态输出力矩 | 第94-97页 |
| 4.5.3 定转子接触的传递效率 | 第97页 |
| 4.6 本章小结 | 第97-98页 |
| 第5章 平板形二自由度压电马达的试验研究 | 第98-119页 |
| 5.1 球面多自由度运动测量系统的提出 | 第98-100页 |
| 5.2 接触式球面运动测量系统的构建 | 第100-103页 |
| 5.2.1 采用机械鼠标的测量系统 | 第101-102页 |
| 5.2.2 采用光电编码器的测量系统 | 第102-103页 |
| 5.3 非接触式球面运动测量系统的研究 | 第103-109页 |
| 5.3.1 采用激光传感器的测量系统 | 第103-106页 |
| 5.3.2 球面运动光学传感的测量方法 | 第106-108页 |
| 5.3.3 非接触式球面测量的试验研究 | 第108-109页 |
| 5.4 基于 B_(32) 与 B_(23) 模态的压电马达测试结果及分析 | 第109-114页 |
| 5.4.1 马达运动能力测试 | 第109-112页 |
| 5.4.2 马达驱动性能测试 | 第112-114页 |
| 5.5 基于 B_(43) 与 B_(34) 模态的压电马达测试结果及分析 | 第114-117页 |
| 5.5.1 马达运动能力测试 | 第114-115页 |
| 5.5.2 马达驱动性能测试 | 第115-117页 |
| 5.6 马达性能影响因素分析 | 第117-118页 |
| 5.7 本章小结 | 第118-119页 |
| 第6章 平板形二自由度压电马达的驱动控制电路 | 第119-127页 |
| 6.1 平板形压电马达驱动电源的总体方案 | 第119-120页 |
| 6.2 马达驱动电源的信号发生电路 | 第120页 |
| 6.3 马达驱动电源的功率放大电路 | 第120-124页 |
| 6.3.1 压电振子的电学参数 | 第121页 |
| 6.3.2 马达控制信号的放大电路研究 | 第121-123页 |
| 6.3.3 马达控制信号的占空比 | 第123-124页 |
| 6.4 马达驱动电源的频率跟踪电路 | 第124-126页 |
| 6.5 本章小结 | 第126-127页 |
| 第7章 结论与展望 | 第127-129页 |
| 7.1 研究结论 | 第127-128页 |
| 7.2 研究创新 | 第128页 |
| 7.3 研究展望 | 第128-129页 |
| 参考文献 | 第129-135页 |
| 作者简介及在学期间所取得的科研成果 | 第135-137页 |
| 1. 发表的学术论文 | 第135-136页 |
| 2. 申请的国家专利 | 第136页 |
| 3. 参加的科研项目 | 第136页 |
| 4. 作者简介 | 第136-137页 |
| 致谢 | 第137页 |
