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肖特基结构Al/CuO薄膜换能元的设计、制备与电爆性能研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
1 绪论第10-17页
    1.1 研究背景及意义第10-11页
    1.2 国内外研究现状第11-16页
        1.2.1 Al/CuO含能复合薄膜第11-14页
        1.2.2 肖特基结薄膜的研究第14-16页
    1.3 本文的主要研究内容第16-17页
2 Al/CuO复合薄膜的制备和表征第17-23页
    2.1 磁控溅射原理第17-18页
    2.2 实验设备、材料以及工艺条件第18页
    2.3 薄膜微观结构表征第18-20页
    2.4 CuO薄膜的半导体特性第20-22页
    2.5 本章小结第22-23页
3 S-Al/CuO-Ⅰ换能元的设计、制备与电爆性能第23-44页
    3.0 S-Al/CuO-Ⅰ芯片设计第23页
    3.1 S-Al/CuO-Ⅰ芯片制备第23-25页
    3.2 S-Al/CuO-Ⅰ换能元制备第25-26页
    3.3 S-Al/CuO-Ⅰ换能元安全性表征第26-32页
        3.3.1 S-Al/CuO-Ⅰ换能元电击穿实验第26-29页
        3.3.2 S-Al/CuO-Ⅰ换能元安全电流实验第29-32页
    3.4 S-Al/CuO-Ⅰ换能元电爆换能规律第32-42页
        3.4.1 S-Al/CuO-Ⅰ换能元电爆性能第32-35页
        3.4.2 双谱线测温和高速摄影第35-40页
        3.4.3 连续电爆特性第40-42页
    3.5 本章小结第42-44页
4 S-Al/CuO-Ⅱ换能元的设计、制备与电爆性能第44-57页
    4.1 S-Al/CuO-Ⅱ芯片设计第44-45页
    4.2 S-Al/CuO-Ⅱ芯片制备第45页
    4.3 S-Al/CuO-Ⅱ换能元安全性能表征第45-48页
        4.3.1 S-Al/CuO-Ⅱ换能元电击穿实验第45-46页
        4.3.2 S-Al/CuO-Ⅱ换能元安全电流实验第46-48页
    4.4 S-Al/CuO-Ⅱ换能元电爆换能规律第48-53页
        4.4.1 S-Al/CuO-Ⅱ换能元电爆性能第48-50页
        4.4.2 双谱线测温和高速摄影第50-53页
    4.5 S-Al/CuO-Ⅱ换能元的电爆数理模型第53-56页
    4.6 本章小结第56-57页
5 S-Al/CuO-Ⅲ换能元的设计、制备与电爆性能第57-65页
    5.1 S-Al/CuO-Ⅲ芯片设计第57页
    5.2 S-Al/CuO-Ⅲ芯片制备第57-58页
    5.3 S-Al/CuO-Ⅲ安全性能表征第58-59页
        5.3.1 S-Al/CuO-Ⅲ换能元击穿电压实验第58-59页
        5.3.2 S-Al/CuO-Ⅲ换能元安全电流实验第59页
    5.4 S-Al/CuO-Ⅲ换能元电爆换能规律第59-63页
        5.4.1 S-Al/CuO-Ⅲ换能元电爆性能第59-60页
        5.4.2 双谱线测温和高速摄影第60-63页
    5.6 本章小结第63-65页
6 结论与展望第65-67页
    6.1 结论第65页
    6.2 创新点第65-66页
    6.3 展望第66-67页
致谢第67-68页
参考文献第68-71页
附录第71页

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