| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 1 综述 | 第10-18页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 FeN二元系统的相结构 | 第10-13页 |
| 1.3 α''-Fe_(16)N_2相的研究现状 | 第13-15页 |
| 1.4 Fe-M-N三元系统的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.4.1 不同掺杂元素M的研究概况 | 第15-16页 |
| 1.4.2 Fe-Co-N三元系统的研究现状 | 第16页 |
| 1.5 本论文的选题意义 | 第16-17页 |
| 1.6 本论文的主要工作 | 第17-18页 |
| 2 薄膜的制备以及各种表征方法 | 第18-26页 |
| 2.1 磁控溅射系统 | 第18-19页 |
| 2.2 溅射原理 | 第19-20页 |
| 2.3 真空退火炉 | 第20-21页 |
| 2.4 薄膜的制备 | 第21页 |
| 2.5 薄膜的表征方法 | 第21-26页 |
| 3 N和Co掺杂对Fe膜表面形貌及磁性的影响 | 第26-34页 |
| 3.1 N和Co掺杂对Fe膜形貌的影响 | 第26-27页 |
| 3.2 N和Co掺杂对Fe膜磁性的影响 | 第27-32页 |
| 3.2.1 X射线衍射分析 | 第27-28页 |
| 3.2.2 透射电子显微镜分析 | 第28-29页 |
| 3.2.3 原子力显微镜和磁力显微镜分析 | 第29-31页 |
| 3.2.4 磁性分析 | 第31-32页 |
| 3.3 电阻率特性 | 第32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 4 Co含量变化对FeCoN薄膜结构和性能的影响 | 第34-44页 |
| 4.1 Co含量变化对FeCoN薄膜结构的影响 | 第34-36页 |
| 4.2 Co含量变化对FeCoN薄膜磁性的影响 | 第36-39页 |
| 4.3 FeCoN薄膜垂直磁各向异性的研究 | 第39-40页 |
| 4.4 Co含量变化对FeCoN薄膜的形貌影响 | 第40-42页 |
| 4.5 不同Co含量FeCoN薄膜的电阻率特性 | 第42页 |
| 4.6 本章小结 | 第42-44页 |
| 5 FeCoN薄膜的热稳定性以及晶粒间相互作用的研究 | 第44-54页 |
| 5.1 改变退火温度研究FeCoN薄膜的稳定性 | 第44-47页 |
| 5.1.1 结构分析 | 第44-46页 |
| 5.1.2 磁性分析 | 第46-47页 |
| 5.2 室温下空气中FeCoN薄膜的稳定性研究 | 第47-49页 |
| 5.2.1 结构分析 | 第47-48页 |
| 5.2.2 磁性分析 | 第48-49页 |
| 5.3 晶粒间的相互作用 | 第49-52页 |
| 5.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 6 结论与展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 附录 攻读硕士期间发表的论文以及参加的学术会议 | 第64页 |