射频磁控溅射Ta-HfN涂层的微观结构及性能研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 引言 | 第11-13页 |
| 1.2 生物相容性 | 第13-14页 |
| 1.3 医用 316L不锈钢 | 第14-17页 |
| 1.3.1 医用 316L不锈钢特点 | 第14-15页 |
| 1.3.2 医用 316L不锈钢存在的问题 | 第15-16页 |
| 1.3.3 医用不锈钢改性方案 | 第16-17页 |
| 1.4 316L不锈钢表面改性及常用涂层 | 第17-22页 |
| 1.4.1 表面改性研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4.2 常用的表面改性技术 | 第18-20页 |
| 1.4.3 常用的表面改性涂层 | 第20-22页 |
| 1.5 论文选题背景与研究内容 | 第22-25页 |
| 1.5.1 选题背景 | 第22-23页 |
| 1.5.2 主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第2章 实验条件及表征方法 | 第25-35页 |
| 2.1 实验材料与设备 | 第25-26页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第25页 |
| 2.1.2 实验设备 | 第25-26页 |
| 2.2 涂层的制备 | 第26-28页 |
| 2.2.1 医用 316L不锈钢前处理 | 第26页 |
| 2.2.2 涂层制备工艺参数 | 第26-27页 |
| 2.2.3 涂层制备过程 | 第27-28页 |
| 2.3 涂层微观结构表征 | 第28页 |
| 2.4 涂层成分与形貌分析 | 第28-29页 |
| 2.4.1 涂层XPS分析 | 第28-29页 |
| 2.4.2 涂层AFM分析 | 第29页 |
| 2.4.3 涂层SEM分析 | 第29页 |
| 2.5 涂层性能表征 | 第29-34页 |
| 2.5.1 涂层力学性能分析 | 第29-31页 |
| 2.5.2 涂层耐腐蚀性分析 | 第31-32页 |
| 2.5.3 涂层亲疏水性分析 | 第32-33页 |
| 2.5.4 涂层血液相容性分析 | 第33-34页 |
| 2.6 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 HfN涂层的制备与性能表征 | 第35-63页 |
| 3.1 HfN涂层制备工艺初步探索 | 第35-38页 |
| 3.1.1 HfN涂层XRD分析 | 第35-37页 |
| 3.1.2 HfN涂层SEM分析 | 第37-38页 |
| 3.2 HfN涂层的制备工艺 | 第38-39页 |
| 3.3 HfN涂层的XRD分析 | 第39-41页 |
| 3.4 HfN涂层的成分与形貌分析 | 第41-49页 |
| 3.4.1 HfN涂层的XPS分析 | 第41-45页 |
| 3.4.2 HfN涂层的AFM分析 | 第45-48页 |
| 3.4.3 HfN涂层的沉积动力学分析 | 第48-49页 |
| 3.5 HfN涂层的力学性能分析 | 第49-53页 |
| 3.5.1 HfN涂层的硬度和弹性模量分析 | 第49-51页 |
| 3.5.2 HfN涂层与基体结合力分析 | 第51-52页 |
| 3.5.3 HfN涂层耐磨性能分析 | 第52-53页 |
| 3.6 HfN涂层的耐腐蚀性分析 | 第53-55页 |
| 3.7 HfN涂层的亲疏水性分析 | 第55-57页 |
| 3.8 HfN涂层的血液相容性分析 | 第57-60页 |
| 3.9 本章小结 | 第60-63页 |
| 第4章 掺杂Ta的HfN涂层的制备与性能表征 | 第63-81页 |
| 4.1 Ta-HfN涂层的制备工艺 | 第63页 |
| 4.2 Ta-HfN涂层的XRD分析 | 第63-65页 |
| 4.3 Ta-HfN涂层的成分与形貌分析 | 第65-74页 |
| 4.3.1 Ta-HfN涂层的XPS分析 | 第65-71页 |
| 4.3.2 Ta-HfN涂层的AFM分析 | 第71-73页 |
| 4.3.3 Ta-HfN涂层的沉积动力学分析 | 第73-74页 |
| 4.4 Ta-HfN涂层的力学性能分析 | 第74-77页 |
| 4.4.1 Ta-HfN涂层硬度和弹性模量分析 | 第74-75页 |
| 4.4.2 Ta-HfN涂层与基体结合力分析 | 第75-76页 |
| 4.4.3 Ta-HfN涂层耐磨性分析 | 第76-77页 |
| 4.5 Ta-HfN涂层的耐腐蚀性分析 | 第77-78页 |
| 4.6 本章小结 | 第78-81页 |
| 结论 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-91页 |
| 致谢 | 第91页 |
