| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题目的及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 空间电荷测量研究现状 | 第10-14页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 基于弹性波法的空间电荷测量原理 | 第15-26页 |
| 2.1 PWP法测量空间电荷原理 | 第15-19页 |
| 2.2 PEA法测量空间电荷原理 | 第19-23页 |
| 2.3 LIPP法与PEA法测量空间电荷的比较分析 | 第23-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 LIPP法空间电荷测试系统设计 | 第26-36页 |
| 3.1 LIPP法测量系统结构设计 | 第26-30页 |
| 3.1.1 测量装置的整体结构 | 第26-27页 |
| 3.1.2 测量系统的电极设计 | 第27-29页 |
| 3.1.3 测量系统的保护电路设计 | 第29-30页 |
| 3.2 信号收集与恢复软件设计 | 第30-35页 |
| 3.2.1 波形过冲问题 | 第30-31页 |
| 3.2.2 信号的收集及恢复处理 | 第31-35页 |
| 3.3 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 LIPP法空间电荷测量结果实验研究 | 第36-49页 |
| 4.1 试样的制备 | 第36-37页 |
| 4.2 半导电材料做为靶材料的实验分析 | 第37-38页 |
| 4.3 铝靶材厚度对分辨率的影响研究 | 第38-44页 |
| 4.3.1 铝靶材厚度对分辨率影响的原理分析 | 第38-41页 |
| 4.3.2 铝靶材厚度对分辨率的影响实验分析 | 第41-44页 |
| 4.4 LIPP法与PEA法测量空间电荷结果比较分析 | 第44-46页 |
| 4.5 LIPP法测量空间电荷结果分析 | 第46-48页 |
| 4.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-55页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |