| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第7-21页 |
| 1.1 立题背景 | 第7-8页 |
| 1.2 微米级粒子与液滴的应用与研究现状 | 第8-12页 |
| 1.2.1 增材制造 | 第8-9页 |
| 1.2.2 微电子领域 | 第9-11页 |
| 1.2.3 理论研究 | 第11页 |
| 1.2.4 其他领域 | 第11-12页 |
| 1.3 微米级粒子或液滴的制备方法 | 第12-19页 |
| 1.3.1 固态机械粉碎法 | 第12-13页 |
| 1.3.2 雾化法 | 第13-15页 |
| 1.3.3 液滴喷射法 | 第15-18页 |
| 1.3.4 化学法 | 第18-19页 |
| 1.3.5 粒子制备方法比较 | 第19页 |
| 1.4 论文的主要研究目的及内容 | 第19-21页 |
| 2 高熔点脉冲微孔喷射设备开发 | 第21-34页 |
| 2.1 单分散液滴喷射系统 | 第22-25页 |
| 2.2 压电陶瓷驱动系统 | 第25页 |
| 2.3 气体压差控制系统 | 第25-27页 |
| 2.4 真空系统 | 第27页 |
| 2.5 温度控制系统 | 第27-28页 |
| 2.6 收集系统 | 第28-32页 |
| 2.6.1 收集系统结构 | 第28-29页 |
| 2.6.2 收集系统可行性分析 | 第29-32页 |
| 2.7 本章小结 | 第32-34页 |
| 3 压电陶瓷驱动系统性能及振动稳定性 | 第34-48页 |
| 3.1 测试方法 | 第34-36页 |
| 3.1.1 激光位移测试系统 | 第34-35页 |
| 3.1.2 数据处理方法及实验参数 | 第35-36页 |
| 3.2 压电陶瓷阶跃响应能力 | 第36-38页 |
| 3.3 脉冲信号波形对振动稳定性的影响 | 第38-45页 |
| 3.3.1 驱动电压对压电陶瓷稳定性的影响 | 第38-40页 |
| 3.3.2 上升沿时间对振动稳定性的影响 | 第40-43页 |
| 3.3.3 保持沿时间对压电陶瓷稳定性的影响 | 第43-45页 |
| 3.4 传动杆几何因素对振动稳定性的影响 | 第45-47页 |
| 3.4.1 传动杆 | 第45页 |
| 3.4.2 材料几何因素对振动稳定性的影响 | 第45-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 4 粒子的制备及其影响因素研究 | 第48-61页 |
| 4.1 实验步骤 | 第48-50页 |
| 4.1.1 预处理 | 第48页 |
| 4.1.2 装料 | 第48页 |
| 4.1.3 抽真空 | 第48-49页 |
| 4.1.4 加热 | 第49页 |
| 4.1.5 施加气体压差 | 第49页 |
| 4.1.6 液滴喷射及粒子收集 | 第49页 |
| 4.1.7 粒子评价 | 第49-50页 |
| 4.2 液滴喷射过程及结果 | 第50-53页 |
| 4.2.1 液滴喷射过程分析 | 第50-51页 |
| 4.2.2 实验结果 | 第51-53页 |
| 4.3 实验参数对粒径的影响 | 第53-59页 |
| 4.3.1 坩埚内外压力差对粒径的影响 | 第53-54页 |
| 4.3.2 脉冲信号波形对粒径的影响 | 第54-58页 |
| 4.3.3 频率对粒径的影响 | 第58页 |
| 4.3.4 传动杆底部与微孔距离对喷射稳定性的影响 | 第58-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-71页 |