| 摘要 | 第2-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 薄膜技术的发展及应用 | 第8-9页 |
| 1.2 薄膜光学常数的几种测量方法 | 第9-14页 |
| 1.2.1 几种主要的测量方法 | 第10-13页 |
| 1.2.2 几种主要测量方法的比较 | 第13-14页 |
| 1.3 本论文研究背景、目的与意义 | 第14-16页 |
| 1.4 本论文主要内容及安排 | 第16-17页 |
| 参考文献 | 第17-20页 |
| 第二章 透明均匀薄膜光学常数和厚度的确定 | 第20-37页 |
| 2.1 单层薄膜透射特性的计算方法 | 第20-25页 |
| 2.1.1 单层薄膜的多光束干涉原理 | 第20-24页 |
| 2.1.2 透射率测量值的修正 | 第24-25页 |
| 2.2 透射光谱法确定透明薄膜光学常数和厚度的基本理论 | 第25-28页 |
| 2.2.1 利用极值点确定薄膜光学常数和厚度初值的理论分析 | 第25-27页 |
| 2.2.2 评价函数的建立 | 第27页 |
| 2.2.3 透射光谱法测定薄膜光学常数和厚度的原理 | 第27-28页 |
| 2.3 透射率曲线测量装置 | 第28-30页 |
| 2.4 透射光谱法的主要优点 | 第30-31页 |
| 2.5 测量结果与计算分析 | 第31-34页 |
| 2.5.1 薄膜样品制备与测试 | 第31-32页 |
| 2.5.2 透射光谱法确定薄膜光学常数和厚度的计算结果与分析 | 第32-34页 |
| 2.6 小结 | 第34-36页 |
| 参考文献 | 第36-37页 |
| 第三章 透射率包络线法确定弱吸收薄膜光学常数和厚度 | 第37-60页 |
| 3.1 透射率包络线法求薄膜光学常数的基本理论及计算程序的实现 | 第37-45页 |
| 3.1.1 透射率包络线法求薄膜光学常数和厚度的基本理论 | 第37-42页 |
| 3.1.2 色散模型的选取 | 第42-43页 |
| 3.1.3 透射率包络线法确定薄膜光学常数和厚度初值的实现 | 第43页 |
| 3.1.4 透射率包络线法的局限性 | 第43-45页 |
| 3.2 单纯形优化法确定薄膜光学常数和厚度的理论分析 | 第45-49页 |
| 3.2.1 单纯形优化法 | 第45-48页 |
| 3.2.2 薄膜光学常数和厚度的计算机求解程序流程 | 第48-49页 |
| 3.3 实验结果与分析 | 第49-57页 |
| 3.3.1 薄膜样品的制备与测量 | 第49页 |
| 3.3.2 薄膜样品的计算结果与分析 | 第49-57页 |
| 3.4 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 第四章 非均匀薄膜光学常数测定的基本理论 | 第60-70页 |
| 4.1 利用透射率监测曲线确定非均匀薄膜光学常数的基本理论 | 第60-64页 |
| 4.2 利用透射率和反射率曲线计算非均匀薄膜光学常数的基本理论 | 第64-66页 |
| 4.3 小结 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 第五章 总结 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 附录 Ⅰ 硕士阶段的主要论文 | 第73-74页 |
