| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题研究的背景和意义 | 第9-12页 |
| 1.2.1 课题研究的背景 | 第9-11页 |
| 1.2.2 课题研究的意义 | 第11-12页 |
| 1.3 磁头和磁头生产流程简介 | 第12-13页 |
| 1.4 类金刚石薄膜简介和发展现状 | 第13-20页 |
| 1.4.1 类金刚石薄膜发展简介 | 第13-14页 |
| 1.4.2 DLC薄膜简介 | 第14-16页 |
| 1.4.3 DLC膜性能 | 第16-20页 |
| 1.4.4 相关领域研究综述 | 第20页 |
| 1.5 主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 类金刚石薄膜的制备工艺分析和分析方法 | 第22-31页 |
| 2.1 类金刚石薄膜的制备 | 第22-24页 |
| 2.2 Keeper Free和CAL两种工艺的区别及分析 | 第24-26页 |
| 2.3 类金刚石薄膜厚度的测量方法 | 第26-27页 |
| 2.4 类金刚石薄膜的表征方法 | 第27-29页 |
| 2.4.1 俄歇电子能谱仪 | 第27-28页 |
| 2.4.2 原子力显微镜 | 第28页 |
| 2.4.3 透射电子显微镜 | 第28页 |
| 2.4.4 纳米划痕仪 | 第28-29页 |
| 2.4.5 Raman光谱 | 第29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 DLC薄膜耐磨损性能和本征性能的探究 | 第31-47页 |
| 3.1 两种类金刚石薄膜的耐磨损性能的对比 | 第31-37页 |
| 3.2 类金刚石薄膜厚度的测量 | 第37页 |
| 3.3 类金刚石薄膜在基体表面的覆盖程度 | 第37-39页 |
| 3.4 类金刚石薄膜表面元素分析 | 第39-42页 |
| 3.5 类金刚石薄膜的拉曼光谱分析 | 第42-44页 |
| 3.6 类金刚石薄膜的硬度测试 | 第44-46页 |
| 3.7 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 CAL工艺的改进和验证 | 第47-61页 |
| 4.1 DLC薄膜摩擦现象基本概述 | 第47-50页 |
| 4.2 薄膜内部应力对薄膜耐磨擦性能的影响 | 第50-52页 |
| 4.3 减少空气中粉尘对薄膜耐磨擦性能的影响 | 第52-53页 |
| 4.4 DLC薄膜表面划痕的改变对其摩擦性能的影响 | 第53-57页 |
| 4.5 提高磁头DLC保护膜耐磨擦性能的措施 | 第57页 |
| 4.6 提高磁头耐磨擦性能措施验证 | 第57-60页 |
| 4.7 本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 致谢 | 第68页 |