高速有机聚合物波导热光开关的研制
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-22页 |
| 1.1 光开关概述 | 第8-12页 |
| 1.1.1 光开关的应用概述 | 第8-9页 |
| 1.1.2 光开关的主要类型 | 第9-12页 |
| 1.2 光开关波导材料概述 | 第12-15页 |
| 1.2.1 常见光开关波导材料 | 第12-13页 |
| 1.2.2 有机聚合物光波导加工工艺 | 第13-15页 |
| 1.3 热光开关的研究进展 | 第15-20页 |
| 1.3.1 数字型热光开关 | 第15-18页 |
| 1.3.2 干涉型热光开关 | 第18-20页 |
| 1.4 本文的工作内容 | 第20-22页 |
| 第二章 聚合物热光开关的结构设计 | 第22-40页 |
| 2.1 热光效应 | 第22-24页 |
| 2.2 介质平板波导 | 第24-29页 |
| 2.2.1 平板光波导的线光学模型 | 第24-26页 |
| 2.2.2 平板波导的电磁理论 | 第26-29页 |
| 2.3 MMI型聚合物热光开关的设计 | 第29-39页 |
| 2.3.1 MMI型光开关的基本原理 | 第29-30页 |
| 2.3.2 矩形波导单模条件及尺寸的确定 | 第30-33页 |
| 2.3.3 MMI型1×2热光开关的结构设计 | 第33-39页 |
| 2.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 聚合物热光开关的制备 | 第40-49页 |
| 3.1 制备工艺流程及设备 | 第40-41页 |
| 3.1.1 工艺流程简述 | 第40-41页 |
| 3.1.2 设备仪器说明 | 第41页 |
| 3.2 具体实验步骤 | 第41-48页 |
| 3.2.1 基片清洗 | 第42页 |
| 3.2.2 旋转涂覆ZAP1020材料 | 第42页 |
| 3.2.3 旋转涂覆下包层 | 第42-43页 |
| 3.2.4 旋转涂覆芯层 | 第43页 |
| 3.2.5 真空阻蒸蒸镀Al掩膜层 | 第43页 |
| 3.2.6 光刻 | 第43-45页 |
| 3.2.7 刻蚀 | 第45-46页 |
| 3.2.8 电极制备 | 第46-47页 |
| 3.2.9 端面处理 | 第47页 |
| 3.2.10 粘电极 | 第47-48页 |
| 3.3 实验中的改进措施 | 第48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 聚合物热光开关的测试 | 第49-57页 |
| 4.1 光开关工作特性参数 | 第49页 |
| 4.2 热光开关的测试 | 第49-55页 |
| 4.2.1 直波导的测试 | 第49-51页 |
| 4.2.2 1×2热光开关特性参数的测量 | 第51-54页 |
| 4.2.3 1×4热光开关特性参数的测量 | 第54-55页 |
| 4.3 光开关存在的问题及对策 | 第55-56页 |
| 4.4 本章总结 | 第56-57页 |
| 总结与展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
