多点接触微纳加工设备的力检测及控制系统的设计与实现
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-30页 |
| 1.1 纳米技术 | 第11-13页 |
| 1.2 纳米加工技术 | 第13-19页 |
| 1.2.1 光刻技术 | 第13-16页 |
| 1.2.2 聚焦离子束刻蚀 | 第16-17页 |
| 1.2.3 纳米压印技术 | 第17-19页 |
| 1.3 扫描探针加工技术 | 第19-25页 |
| 1.3.1 扫描探针加工设备 | 第19-22页 |
| 1.3.2 阳极氧化 | 第22-23页 |
| 1.3.3 蘸笔印刷术 | 第23-24页 |
| 1.3.4 摩擦诱导纳米加工 | 第24-25页 |
| 1.4 多点接触微米级加工设备 | 第25-27页 |
| 1.4.1 基本设计原理 | 第26-27页 |
| 1.4.2 加工实例 | 第27页 |
| 1.5 本文的选题意义及研究内容 | 第27-30页 |
| 1.5.1 选题意义 | 第27-28页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第28-30页 |
| 第2章 力检测系统方案设计 | 第30-34页 |
| 2.1 设备设计方案 | 第30-32页 |
| 2.2 方案选择 | 第32页 |
| 2.3 主要技术问题 | 第32-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 力检测系统设计 | 第34-44页 |
| 3.1 力检测系统基本技术要求 | 第34页 |
| 3.2 悬臂梁形变检测方法 | 第34-36页 |
| 3.3 力检测装置的方案设计 | 第36-38页 |
| 3.4 应变测量电路设计 | 第38-42页 |
| 3.4.1 电桥调平 | 第39-41页 |
| 3.4.2 电压放大电路设计 | 第41-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 悬臂梁的设计 | 第44-55页 |
| 4.1 悬臂梁设计要求 | 第44-45页 |
| 4.2 悬臂梁结构设计 | 第45-47页 |
| 4.2.1 L型悬臂梁 | 第45-46页 |
| 4.2.2 组合式平行双簧片悬臂梁 | 第46-47页 |
| 4.3 悬臂梁设计方案 | 第47-48页 |
| 4.4 组合平行双簧片悬臂梁计算分析 | 第48-53页 |
| 4.4.1 静力学计算 | 第48-49页 |
| 4.4.2 弹性形变分析 | 第49-51页 |
| 4.4.3 悬臂梁切向应力分析 | 第51-53页 |
| 4.5 悬臂梁实物与标定 | 第53-54页 |
| 4.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 载荷进给运动的自动控制 | 第55-63页 |
| 5.1 自动加载实现方式 | 第56-57页 |
| 5.2 自动加载软件支持 | 第57-61页 |
| 5.3 新设备实验检测 | 第61-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论与展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
