白光扫描干涉技术的研究及其在高精度检测表面形貌中的应用
| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题的目的与意义 | 第8-9页 |
| 1.2 表面检测技术的发展趋势 | 第9-11页 |
| 1.3 本课题的研究内容 | 第11页 |
| 1.4 论文各章节安排 | 第11-14页 |
| 第2章 白光干涉仪的结构与原理 | 第14-24页 |
| 2.1 白光干涉仪的结构 | 第14-16页 |
| 2.2 白光干涉原理 | 第16-18页 |
| 2.3 白光干涉信号分析 | 第18-20页 |
| 2.4 算法研究 | 第20-23页 |
| 2.5 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 白光干涉系统的误差分析 | 第24-43页 |
| 3.1 压电陶瓷的误差分析及处理方法 | 第24-30页 |
| 3.1.1 压电陶瓷特性 | 第24-25页 |
| 3.1.2 误差仿真 | 第25-30页 |
| 3.1.3 仿真结果分析 | 第30页 |
| 3.2 色散误差分析及处理方法 | 第30-37页 |
| 3.2.1 信号分析 | 第30-31页 |
| 3.2.2 实验过程 | 第31-36页 |
| 3.2.3 实验总结 | 第36-37页 |
| 3.3 随机误差分析 | 第37-41页 |
| 3.3.1 信号分析 | 第37页 |
| 3.3.2 误差仿真 | 第37-40页 |
| 3.3.3 仿真结果分析 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 表面轮廓扫描 | 第43-54页 |
| 4.1 色散模型分析 | 第43-45页 |
| 4.2 实验过程与结果分析 | 第45-53页 |
| 4.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 总结与展望 | 第54-58页 |
| 5.1 全文总结 | 第54-55页 |
| 5.2 展望与今后工作的安排 | 第55-58页 |
| 参考文献 | 第58-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 个人简历、在学期间研究成果及发表的学术论文 | 第66页 |
