基于触针式位移测量系统表面形貌特征评定的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题的来源 | 第10页 |
| 1.2 课题研究的背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.3 触针式粗糙度轮廓仪的研究现状及分析 | 第11-15页 |
| 1.3.1 国外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3.2 国内研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3.3 国内外研究现状的分析 | 第13-15页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 微位移信号采集及系统爬行特性分析 | 第16-29页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 触针式表面形貌测量原理 | 第16-18页 |
| 2.2.1 一维扫描系统的组成及工作原理 | 第17页 |
| 2.2.2 微位移信号采集原理 | 第17-18页 |
| 2.3 一维扫描系统的爬行特性 | 第18-21页 |
| 2.3.1 等效模型的建立 | 第18页 |
| 2.3.2 数学模型的推导 | 第18-21页 |
| 2.4 一维扫描系统爬行特性的仿真与分析 | 第21-28页 |
| 2.4.1 仿真模型建立 | 第21-23页 |
| 2.4.2 驱动速度的影响 | 第23-24页 |
| 2.4.3 扫描块质量的影响 | 第24-25页 |
| 2.4.4 扫描系统刚度的影响 | 第25-26页 |
| 2.4.5 系统阻尼的影响 | 第26-27页 |
| 2.4.6 动静摩擦系数之差的影响 | 第27页 |
| 2.4.7 仿真结果分析 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 表面粗糙度分离算法 | 第29-45页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 轮廓参数的术语和定义 | 第29-30页 |
| 3.3 滤波方法及参数评定 | 第30-39页 |
| 3.3.1 2RC滤波 | 第31-32页 |
| 3.3.2 高斯滤波 | 第32-33页 |
| 3.3.3 Rk滤波 | 第33-34页 |
| 3.3.4 稳健高斯滤波 | 第34-36页 |
| 3.3.5 样条滤波 | 第36-37页 |
| 3.3.6 小波滤波 | 第37-39页 |
| 3.3.7 粗糙度参数评定 | 第39页 |
| 3.4 表面形貌评定软件开发 | 第39-44页 |
| 3.4.1 软件设计 | 第39-40页 |
| 3.4.2 DXF文件开发 | 第40-44页 |
| 3.4.2.1 DXF文件解析 | 第41页 |
| 3.4.2.2 写DXF文件 | 第41-42页 |
| 3.4.2.3 读取DXF文件 | 第42-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 基于EMD表面粗糙度的分离 | 第45-58页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 经验模态分解 | 第45页 |
| 4.3 EMD分解算法 | 第45-47页 |
| 4.4 边界延拓 | 第47-48页 |
| 4.5 IMF频率计算 | 第48-50页 |
| 4.6 EMD参考线 | 第50-52页 |
| 4.7 EMD中线 | 第52-54页 |
| 4.8 EMD混合中线 | 第54-57页 |
| 4.9 EMD混合中线算法总结 | 第57页 |
| 4.10 本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 实验与分析 | 第58-73页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 爬行现象实验 | 第58-63页 |
| 5.2.1 实时标定软件设计 | 第58-60页 |
| 5.2.2 爬行实验测量平台搭建 | 第60-61页 |
| 5.2.3 最低驱动速度下的扫描块爬行实验 | 第61-63页 |
| 5.3 表面形貌特征评定 | 第63-73页 |
| 5.3.1 表面形貌测量实验 | 第63-64页 |
| 5.3.2 表面形貌滤波算法比对 | 第64-72页 |
| 5.3.3 评定结果分析 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
