| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-18页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 研究目的及意义 | 第13-14页 |
| 1.2.1 射频加热系统电磁辐射泄漏及其安全性 | 第13页 |
| 1.2.2 射频加热均匀性问题与上极板电压 | 第13-14页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3.1 泄漏电磁辐射 | 第14-15页 |
| 1.3.2 上极板电压与加热均匀性研究 | 第15-16页 |
| 1.4 存在的问题 | 第16页 |
| 1.5 研究内容 | 第16页 |
| 1.6 技术路线 | 第16-18页 |
| 第二章 射频加热系统辐射泄漏量研究 | 第18-34页 |
| 2.1 射频加热系统电磁辐射泄漏量测量和屏蔽研究方案 | 第18-24页 |
| 2.1.1 研究设备和仪器 | 第18-19页 |
| 2.1.1.1 射频加热系统 | 第18页 |
| 2.1.1.2 辐射量检测仪 | 第18-19页 |
| 2.1.2 测量方法以及理论 | 第19-20页 |
| 2.1.3 测量方案确定 | 第20-22页 |
| 2.1.4 极板间电磁场分布 | 第22-23页 |
| 2.1.5 屏蔽分析 | 第23-24页 |
| 2.2 试验结果分析方法 | 第24-25页 |
| 2.3 分析与讨论 | 第25-32页 |
| 2.3.1 测量距离对电场强度泄漏量的影响 | 第25-26页 |
| 2.3.2 极板间距对电场强度泄漏量的影响 | 第26-28页 |
| 2.3.3 测量距离和极板间距对磁场强度泄漏量的影响 | 第28-30页 |
| 2.3.4 加载对电磁辐射泄漏量的影响 | 第30页 |
| 2.3.5 屏蔽门帘效果 | 第30-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 射频加热系统上极板电压研究 | 第34-50页 |
| 3.1 研究材料与设备 | 第34-35页 |
| 3.2 上极板电压的计算和模拟 | 第35-41页 |
| 3.2.1 估算方法 | 第35页 |
| 3.2.2 计算机模拟 | 第35-38页 |
| 3.2.2.1 物理模型 | 第35-36页 |
| 3.2.2.2 控制方程 | 第36页 |
| 3.2.2.3 初始和边界条件 | 第36-38页 |
| 3.2.2.4 网格划分和计算 | 第38页 |
| 3.2.3 极板电压测量设备和方法 | 第38-39页 |
| 3.2.4 物料加热和温度测量 | 第39-41页 |
| 3.3 结果分析与讨论 | 第41-49页 |
| 3.3.1 射频加热试验结果分析 | 第41-42页 |
| 3.3.2 阳极电流和极板间距的关系 | 第42-43页 |
| 3.3.3 模拟模型结果 | 第43-45页 |
| 3.3.4 计算电压值分析 | 第45-46页 |
| 3.3.5 上极板电压估算模型 | 第46-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 结论与展望 | 第50-52页 |
| 4.1 结论 | 第50页 |
| 4.2 展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 致谢 | 第56-58页 |
| 作者简介 | 第58页 |