| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 全固态薄膜锂/锂离子电池的发展史 | 第11-15页 |
| 1.1.1 全固态薄膜锂/锂离子电池的发展史 | 第11-14页 |
| 1.1.2 全固态薄膜锂/锂离子电池的应用 | 第14-15页 |
| 1.2 全固态薄膜锂离子电池电极材料的研究进展 | 第15-17页 |
| 1.2.1 正极材料的研究进展 | 第15-16页 |
| 1.2.2 负极材料的研究进展 | 第16页 |
| 1.2.3 电解质材料的研究进展 | 第16-17页 |
| 1.3 全固态薄膜锂/锂离子电池的结构及工作原理 | 第17-19页 |
| 1.3.1 全固态薄膜锂/锂离子电池的结构 | 第17-18页 |
| 1.3.2 全固态薄膜锂离子电池的工作原理 | 第18-19页 |
| 1.4 全固态薄膜锂离子电池的制备方法 | 第19-20页 |
| 1.4.1 射频磁控溅射法 | 第19-20页 |
| 1.4.2 电子束蒸发法 | 第20页 |
| 1.4.3 脉冲激光沉积法 | 第20页 |
| 1.4.4 溶胶-凝胶法 | 第20页 |
| 1.5 本论文主要研究目的和内容 | 第20-22页 |
| 2 实验技术与仪器 | 第22-37页 |
| 2.1 实验设备 | 第22-28页 |
| 2.1.1 薄膜“原位”沉积系统 | 第22-26页 |
| 2.1.2 粉末压片机 | 第26-27页 |
| 2.1.3 恒温试验箱 | 第27-28页 |
| 2.2 测试表征 | 第28-34页 |
| 2.2.1 电池评测系统 | 第28-29页 |
| 2.2.2 电化学工作站 | 第29-30页 |
| 2.2.3 原子力显微镜 | 第30-32页 |
| 2.2.4 X射线衍射仪 | 第32页 |
| 2.2.5 X射线光电子能谱仪 | 第32-33页 |
| 2.2.6 扫描电子显微镜 | 第33-34页 |
| 2.3 实验靶材 | 第34-37页 |
| 2.3.1 正极LiMn_2O_4 靶材 | 第35-36页 |
| 2.3.2 电解质Li_3PO_4 靶材 | 第36-37页 |
| 3 锂离子电池单层薄膜的制备及研究 | 第37-48页 |
| 3.1 锂离子电池负极材料V_2O_5 薄膜的制备及研究 | 第37-43页 |
| 3.1.1 V_2O_5 薄膜的制备 | 第37-38页 |
| 3.1.2 负极V_2O_5 薄膜的表面形貌 | 第38-40页 |
| 3.1.3 负极V_2O_5 薄膜的物相分析 | 第40-41页 |
| 3.1.4 负极V_2O_5 薄膜的物态结构分析 | 第41-42页 |
| 3.1.5 实验结论 | 第42-43页 |
| 3.2 电解质材料LiPON薄膜的制备及研究 | 第43-46页 |
| 3.2.1 电解质材料LiPON薄膜的制备 | 第44页 |
| 3.2.2 LiPON薄膜的表面形貌 | 第44-46页 |
| 3.3 锂离子电池集电极V薄膜的制备及研究 | 第46-48页 |
| 3.3.1 集电极V薄膜的制备 | 第47页 |
| 3.3.2 集电极V薄膜的表面形貌 | 第47-48页 |
| 4 锂离子电池正极材料LiMn_(2-x)Ti_xO_4 薄膜的制备及研究 | 第48-53页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 实验部分 | 第48-49页 |
| 4.2.1 样品制备 | 第48-49页 |
| 4.2.2 性能测试与表征 | 第49页 |
| 4.3 正极 LiMn_(2-x)Ti_xO_4薄膜的表面形貌 | 第49-51页 |
| 4.4 正极LiMn_(2-x)Ti_xO_4 薄膜的结构分析 | 第51页 |
| 4.5 正极LiMn_(2-x)Ti_xO_4 薄膜的电化学特性分析 | 第51-52页 |
| 4.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 5 Ti掺杂LiMn_2O_4 全固态薄膜锂离子电池的制备及研究 | 第53-59页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 实验部分 | 第53-55页 |
| 5.2.1 电池衬底的选取 | 第53-54页 |
| 5.2.2 电池的结构设计及制备流程 | 第54-55页 |
| 5.2.3 电池的表征 | 第55页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第55-58页 |
| 5.3.1 电池的充放电性能 | 第55-57页 |
| 5.3.2 电池的循环性能 | 第57-58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 6 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 附录 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
