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α、β平面标准源的制备技术及评价方法研究

摘要第4-6页
Abstract第6-8页
第1章 绪论第12-22页
    1.1 研究背景及目的和意义第12-14页
        1.1.1 研究背景第12-13页
        1.1.2 研究目的和意义第13-14页
    1.2 国内外研究现状第14-19页
        1.2.1 平面源的制备方法第15-18页
        1.2.2 磷屏成像方法第18-19页
    1.3 研究内容与方法第19-22页
        1.3.1 研究方法第19-21页
        1.3.2 研究内容第21-22页
第2章 磷屏成像的性能测试及其在平面源评价中的应用第22-36页
    2.1 磷屏成像原理与仪器第22-24页
        2.1.1 磷屏成像原理第22-23页
        2.1.2 磷屏成像仪第23页
        2.1.3 仪器操作与磷屏成像过程第23-24页
    2.2 磷屏成像系统特性研究第24-31页
        2.2.1 磷屏成像的重复性第24-26页
        2.2.2 时间与活度线性第26-29页
        2.2.3 响应的一致性第29-31页
    2.3 大面积平面源均匀性评价方法第31-33页
    2.4 本章小结第33-36页
第3章 α平面源的电沉积方法研究第36-48页
    3.1 电沉积法原理第36-38页
    3.2 实验设备及试剂第38-40页
        3.2.1 实验设备第38-39页
        3.2.2 试剂第39-40页
    3.3 实验条件对面源的影响第40-47页
        3.3.1 不锈钢片清洁程度与有机物残留对面源的影响第40-42页
        3.3.2 阴阳极距离对面源的影响第42-44页
        3.3.3 铀溶液加入次数对面源的影响第44-46页
        3.3.4 铀物质的量对面源的影响第46-47页
    3.4 本章小结第47-48页
第4章 β平面源的氧化-填充方法研究第48-58页
    4.1 实验原理第48页
    4.2 实验装置、试剂第48-49页
    4.3 实验步骤第49页
    4.4 计算化学沉积效率第49-50页
    4.5 面源的检测第50-55页
        4.5.1 表观检测第50页
        4.5.2 擦拭检测第50-51页
        4.5.3 显微镜检测面源表面微观结构第51页
        4.5.4 磷屏检测第51-55页
    4.6 本章小结第55-58页
第5章 总结与展望第58-62页
    5.1 总结第58-59页
    5.2 展望第59-62页
参考文献第62-66页
攻读硕士期间的科研成果第66-68页
致谢第68页

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