| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 加速度计概述 | 第9-12页 |
| 1.1.1 加速度计测量原理 | 第9-10页 |
| 1.1.2 加速度计的应用范围 | 第10-11页 |
| 1.1.3 加速度计的发展 | 第11-12页 |
| 1.2 集成光学加速度计国内外研究现状 | 第12-17页 |
| 1.2.1 集成光学加速度传感器概述 | 第12-13页 |
| 1.2.2 国内外MOEMS加速度计研究进展 | 第13-17页 |
| 1.3 集成光学加速度计测试系统概述 | 第17-20页 |
| 1.3.1 光电探测的定义及意义 | 第17页 |
| 1.3.2 集成光学加速度计测试系统研究现状 | 第17-20页 |
| 1.4 本论文的研究目的及基本内容 | 第20-21页 |
| 第二章 集成光学加速度计的结构设计和理论分析 | 第21-35页 |
| 2.1 引言 | 第21-23页 |
| 2.1.1 双光束干涉 | 第21-22页 |
| 2.1.2 多光束干涉 | 第22-23页 |
| 2.2 MZ干涉式柔性光波导加速度计结构设计与理论分析 | 第23-28页 |
| 2.2.1 MZ干涉式柔性光波导加速度计理论推导 | 第23-26页 |
| 2.2.2 MZ干涉式柔性光波导加速度计仿真分析 | 第26-27页 |
| 2.2.3 MZ干涉式柔性光波导加速度传感芯片制备 | 第27-28页 |
| 2.3 Fano谐振式柔性光波导加速度计结构设计与理论分析 | 第28-34页 |
| 2.3.1 Fano谐振式柔性光波导加速度计理论推导 | 第28-30页 |
| 2.3.2 Fano谐振式柔性光波导加速度计仿真分析 | 第30-32页 |
| 2.3.3 Fano谐振式柔性光波导加速度计传感芯片制备 | 第32-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 集成光学加速度计信号检测系统设计 | 第35-43页 |
| 3.1 引言 | 第35-36页 |
| 3.1.1 集成光学加速度计信号检测系统方案设计 | 第36页 |
| 3.2 集成光学加速度计信号检测系统调理电路设计 | 第36-40页 |
| 3.2.1 光电探测器 | 第36页 |
| 3.2.2 MAX4004电流转电压模块 | 第36-37页 |
| 3.2.3 ADA4528电压放大器模块 | 第37页 |
| 3.2.4 稳压电源模块 | 第37-38页 |
| 3.2.5 硬件调试 | 第38-40页 |
| 3.3 集成光学加速度计信号检测系统软件设计 | 第40-42页 |
| 3.3.1 STM32嵌入式系统概述 | 第40页 |
| 3.3.2 ADC采样模块 | 第40-41页 |
| 3.3.3 液晶屏显示模块 | 第41-42页 |
| 3.3.4 软件调试 | 第42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 集成光学加速度计传感性能测试 | 第43-51页 |
| 4.1 引言 | 第43-45页 |
| 4.1.1 集成光学加速度计性能指标 | 第43-44页 |
| 4.1.2 集成光学加速度计动态测试分析平台的搭建 | 第44-45页 |
| 4.2 集成光学加速度计传感性能的测试与分析 | 第45-48页 |
| 4.2.1 基于Fano谐振式加速度传感性能测试 | 第45-46页 |
| 4.2.2 基于MZ干涉式加速度传感性能测试 | 第46-48页 |
| 4.3 集成光学加速度计噪声、分辨率的分析 | 第48-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 总结与展望 | 第51-53页 |
| 5.1 研究工作总结 | 第51-52页 |
| 5.2 下一步工作展望 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 作者简介 | 第59页 |
