| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 ZrO_2薄膜概述 | 第11-13页 |
| 1.2.1 ZrO_2性质和特点 | 第12-13页 |
| 1.2.2 ZrO_2薄膜的应用 | 第13页 |
| 1.3 Al_2O_3薄膜概述 | 第13-16页 |
| 1.3.1 Al_2O_3性质和特点 | 第14-16页 |
| 1.3.2 Al_2O_3薄膜材料的应用 | 第16页 |
| 1.4 薄膜制备方法 | 第16-20页 |
| 1.4.1 电泳沉积法 | 第16-17页 |
| 1.4.1.1 电泳沉积制备ZrO_2薄膜 | 第16-17页 |
| 1.4.1.2 电泳沉积制备Al_2O_3薄膜 | 第17页 |
| 1.4.2 溶胶一凝胶法 | 第17-18页 |
| 1.4.2.1 溶胶-凝胶法制备ZrO_2薄膜 | 第17-18页 |
| 1.4.2.2 溶胶-凝胶法制备Al_2O_3薄膜 | 第18页 |
| 1.4.3 磁控溅射法 | 第18-20页 |
| 1.4.3.2 磁控溅射制备ZrO_2薄膜 | 第19页 |
| 1.4.2.3 磁控溅射制备Al_2O_3薄膜 | 第19-20页 |
| 1.5 本文研究意义和内容 | 第20-21页 |
| 1.5.1 研究意义 | 第20页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 实验部分 | 第21-31页 |
| 2.1 制备薄膜的设备 | 第21页 |
| 2.2 影响磁控溅射的主要因素 | 第21-22页 |
| 2.3 基片的前处理 | 第22-23页 |
| 2.4 薄膜的制备 | 第23-24页 |
| 2.5 薄膜性能表征 | 第24-31页 |
| 2.5.1 表面形貌分析 | 第24-25页 |
| 2.5.2 XRD物相分析 | 第25页 |
| 2.5.3 电化学测试 | 第25-27页 |
| 2.5.4 薄膜结合力测试 | 第27-28页 |
| 2.5.5 钨铼热电偶丝镀膜后耐高温氧化能力测试 | 第28-31页 |
| 第三章 ZrO_2薄膜的研究 | 第31-55页 |
| 3.1 溅射温度对ZrO_2薄膜的影响 | 第31-38页 |
| 3.1.1 溅射温度对ZrO_2薄膜表面形貌的影响 | 第31-33页 |
| 3.1.2 不同温度下制备的ZrO_2薄膜XRD分析 | 第33-35页 |
| 3.1.3 溅射温度对ZrO_2薄膜耐蚀性的影响 | 第35-37页 |
| 3.1.4 溅射温度对ZrO_2薄膜结合力的影响 | 第37-38页 |
| 3.2 氩气气压对ZrO_2薄膜的影响 | 第38-46页 |
| 3.2.1 氩气气压对薄膜沉积速率的影响 | 第39-40页 |
| 3.2.2 氩气气压对薄膜形貌的影响 | 第40-42页 |
| 3.2.3 不同总气压下制备的ZrO_2薄膜XRD分析 | 第42-43页 |
| 3.2.4 总气压对薄膜耐蚀性的影响 | 第43-45页 |
| 3.2.5 总气压对薄膜结合力的影响 | 第45-46页 |
| 3.3 靶功率对ZrO_2薄膜的影响 | 第46-52页 |
| 3.3.1 靶功率对ZrO_2薄膜形貌的影响 | 第47-49页 |
| 3.3.2 不同溅射功率下制备的ZrO_2薄膜的XRD分析 | 第49-50页 |
| 3.3.3 溅射功率对ZrO_2薄膜耐蚀性的影响 | 第50-51页 |
| 3.3.4 溅射功率对ZrO_2薄膜结合力的影响 | 第51-52页 |
| 3.4 ZrO_2薄膜钨铼热电偶上应用的研究 | 第52-53页 |
| 3.4.1 ZrO_2薄膜耐高温氧化的研究 | 第52-53页 |
| 3.4.2 ZrO_2薄膜在钨铼热电偶上应用的形貌研究 | 第53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 第四章 Al_2O_3薄膜的研究 | 第55-63页 |
| 4.1 基片温度对Al_2O_3薄膜的影响 | 第55-58页 |
| 4.1.1 基片温度对Al_2O_3薄膜形貌的影响 | 第55-56页 |
| 4.1.2 不同基片温度下制备的Al_2O_3薄膜的XRD分析 | 第56-57页 |
| 4.1.3 基片温度对Al_2O_3薄膜结合力的影响 | 第57-58页 |
| 4.2 氩气气压对Al_2O_3薄膜的影响 | 第58-60页 |
| 4.2.1 氩气气压对Al_2O_3薄膜形貌的影响 | 第58-59页 |
| 4.2.2 不同氩气气压下制备Al_2O_3薄膜的XRD分析 | 第59页 |
| 4.2.3 氩气气压对Al_2O_3薄膜结合力的影响 | 第59-60页 |
| 4.3 Al_2O_3薄膜在钨铼热电偶上应用的研究 | 第60-62页 |
| 4.3.1 Al_2O_3薄膜耐高温氧化的研究 | 第60-61页 |
| 4.3.2 Al_2O_3薄膜钨铼热电偶上应用的形貌研究 | 第61-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
