| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-20页 |
| 1.1 研究背景 | 第7-8页 |
| 1.2 表面微观轮廓检测技术的发展与研究现状 | 第8-18页 |
| 1.2.1 机械探针式轮廓仪 | 第8-9页 |
| 1.2.2 非光学式扫描探针显微镜 | 第9-12页 |
| 1.2.3 光学表面微观轮廓检测技术 | 第12-18页 |
| 1.3 本论文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 交叠成像技术理论 | 第20-31页 |
| 2.1 相干衍射成像技术 | 第20-21页 |
| 2.2 交叠成像技术的基本原理与技术进展 | 第21-28页 |
| 2.2.1 交叠成像技术的基本原理 | 第21-25页 |
| 2.2.2 交叠成像技术的特征 | 第25页 |
| 2.2.3 交叠成像技术进展与应用方向 | 第25-28页 |
| 2.3 交叠成像技术的迭代复原算法 | 第28-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 3 表面微观轮廓交叠成像系统设计及仿真 | 第31-38页 |
| 3.1 基于交叠成像的表面微观轮廓检测系统 | 第31-33页 |
| 3.2 检测系统的模拟仿真分析 | 第33-37页 |
| 3.2.1 交叠成像复原表面轮廓算法验证 | 第33-34页 |
| 3.2.2 台阶高度对复原结果的影响 | 第34-36页 |
| 3.2.3 噪声对复原结果的影响 | 第36-37页 |
| 3.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 表面微观轮廓交叠成像系统的搭建及实验结果与分析 | 第38-49页 |
| 4.1 实验光路的设计与搭建 | 第38-43页 |
| 4.1.1 实验光路搭建 | 第38-39页 |
| 4.1.2 照明光系统 | 第39-41页 |
| 4.1.3 待测物扫描位移系统 | 第41-42页 |
| 4.1.4 相干衍射图采集模块 | 第42-43页 |
| 4.2 二元光学元件的表面微观轮廓检测结果与分析 | 第43-48页 |
| 4.2.1 二元光学元件 | 第43-44页 |
| 4.2.2 CGH的表面微观轮廓检测 | 第44-46页 |
| 4.2.3 CGH的特征尺寸的提取 | 第46-48页 |
| 4.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 5 基于交叠成像技术表面微观轮廓检测的位置误差校正 | 第49-58页 |
| 5.1 位置误差校正的模拟退火算法 | 第49-52页 |
| 5.2 位置误差校正的模拟退火算法仿真 | 第52-55页 |
| 5.3 位置误差校正的模拟退火算法实验验证 | 第55-56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-58页 |
| 6 总结与展望 | 第58-60页 |
| 6.1 全文总结 | 第58-59页 |
| 6.2 展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 附录 | 第66页 |