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金属氧化物半导体纳米材料气敏传感性能及其自驱动系统的研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 前言第13-17页
第二章 文献综述第17-45页
    2.1 引言第17页
    2.2 氧化物半导体纳米材料第17-22页
        2.2.1 发展概述第17-19页
        2.2.2 纳米ZnO材料第19-20页
        2.2.3 纳米Co_3O_4材料第20-22页
    2.3 气敏传感器第22-33页
        2.3.1 发展概述第22-23页
        2.3.2 气敏材料第23-29页
        2.3.3 气敏机理第29-31页
        2.3.4 器件结构第31-33页
    2.4 摩擦纳米发电机第33-43页
        2.4.1 发展概述第33-34页
        2.4.2 工作模式第34-37页
        2.4.3 工作原理第37-38页
        2.4.4 自驱动传感系统第38-43页
    2.5 选题背景和研究内容第43-45页
第三章 实验方法第45-53页
    3.1 化学试剂第45-46页
    3.2 实验仪器第46页
    3.3 材料制备方法第46-47页
        3.3.1 水热法第46-47页
        3.3.2 物理气相沉积法第47页
    3.4 材料表征方法第47-49页
        3.4.1 材料物相分析第47页
        3.4.2 材料形貌分析第47-48页
        3.4.3 材料结构分析第48页
        3.4.4 材料热分析第48页
        3.4.5 材料物理性能分析第48-49页
    3.5 气敏传感性能测试第49-51页
        3.5.1 气敏传感器制备第49页
        3.5.2 气敏传感测试平台第49-50页
        3.5.3 静态配气第50-51页
        3.5.4 气敏测试操作第51页
    3.6 摩擦纳米发电机性能测试第51-53页
第四章 菱形ZnO纳米棒阵列及其气敏传感性能研究第53-69页
    4.1 引言第53-54页
    4.2 实验方法第54-55页
        4.2.1 衬底清洗第54页
        4.2.2 籽晶层制备第54页
        4.2.3 材料制备第54页
        4.2.4 表征测试方法第54页
        4.2.5 气敏传感器制备及测试第54-55页
    4.3 材料表征第55-61页
        4.3.1 菱形前驱体Zn(OH)F纳米棒阵列第55-56页
        4.3.2 热处理温度的选择第56-58页
        4.3.3 菱形ZnO纳米棒阵列第58-61页
    4.4 生长机理第61-63页
    4.5 气敏传感性能第63-68页
        4.5.1 气敏性能第63-67页
        4.5.2 气敏机理第67-68页
    4.6 本章小结第68-69页
第五章 菱形Co3O_4纳米棒阵列及其气敏传感性能研究第69-87页
    5.1 引言第69-70页
    5.2 制备方法第70页
        5.2.1 衬底清洗第70页
        5.2.2 材料制备第70页
        5.2.3 表征测试方法第70页
        5.2.4 气敏传感器制备及测试第70页
    5.3 材料表征第70-77页
        5.3.1 菱形前驱体Co(OH)F纳米棒阵列第70-72页
        5.3.2 热处理温度选择第72-74页
        5.3.3 菱形Co_3O_4纳米棒阵列第74-77页
    5.4 生长机理第77-81页
        5.4.1 NH4F浓度的影响第77-78页
        5.4.2 水热温度的影响第78-81页
    5.5 气敏传感性能研究第81-86页
        5.5.1 气敏性能第81-84页
        5.5.2 气敏机理第84-86页
    5.6 本章小结第86-87页
第六章 针状Co_3O_4纳米线阵列及其气敏传感性能研究第87-101页
    6.1 引言第87-88页
    6.2 制备方法第88页
        6.2.1 衬底清洗第88页
        6.2.2 材料制备第88页
        6.2.3 表征测试方法第88页
        6.2.4 气敏传感器制备及测试第88页
    6.3 材料表征第88-94页
        6.3.1 针状前驱体Co(CO_3)_(0.5)(OH)·0.11H_2O纳米线阵列第88-90页
        6.3.2 热处理温度选择第90-92页
        6.3.3 针状Co_3O_4纳米线阵列第92-94页
    6.4 生长机理第94-95页
    6.5 气敏传感性能研究第95-100页
        6.5.1 气敏性能第95-97页
        6.5.2 气敏机理第97-100页
    6.6 本章小结第100-101页
第七章 基于摩擦纳米发电机的自驱动气敏传感系统第101-113页
    7.1 引言第101-102页
    7.2 实验方法第102-103页
        7.2.1 FEP纳米棒阵列的制备第102页
        7.2.2 摩擦纳米发电机的制备第102页
        7.2.3 自驱动酒驾测试仪的制备第102页
        7.2.4 测试方法第102-103页
    7.3 器件结构第103-104页
    7.4 工作原理第104-105页
    7.5 电学特性输出第105-106页
    7.6 气敏传感性能第106-109页
    7.7 自驱动酒驾测试系统第109-111页
    7.8 本章小结第111-113页
第八章 结论与展望第113-117页
    8.1 全文总结第113-114页
    8.2 本文主要创新点第114页
    8.3 未来工作展望第114-117页
参考文献第117-135页
致谢第135-137页
个人简历第137-139页
攻读博士学位期间主要研究成果第139-144页

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