| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 1 绪论 | 第11-21页 |
| ·研究背景 | 第11-12页 |
| ·矢量水听器国内外研究进展及应用现状 | 第12-18页 |
| ·MEMS技术应用于矢量水听器 | 第18-19页 |
| ·本文的研究目的及意义 | 第19页 |
| ·本文的具体章节及研究内容安排 | 第19-21页 |
| 2 纤毛式MEMS矢量水听器微结构优化设计及仿真 | 第21-43页 |
| ·纤毛式MEMS矢量水听器仿生微结构工作原理 | 第21-22页 |
| ·纤毛式MEMS矢量水听器十字梁微结构力学建模 | 第22-28页 |
| ·MEMS矢量水听器微结构的力学特性分析 | 第24-26页 |
| ·MEMS矢量水听器微结构的频率特性分析 | 第26-28页 |
| ·微结构应力集中方案设计 | 第28-39页 |
| ·多重应力集中方法及其应用于十字梁微结构 | 第28-31页 |
| ·应力集中区域选择及尺寸设计 | 第31-33页 |
| ·MSCR对十字梁微结构性能的提高 | 第33-39页 |
| ·三种微结构模型的一阶振型仿真 | 第34-35页 |
| ·三种微结构模型的频率响应仿真 | 第35-36页 |
| ·三种微结构模型的静力仿真 | 第36-39页 |
| ·纤毛集成低密度小球技术 | 第39-40页 |
| ·本章总结 | 第40-43页 |
| 3 纤毛式MEMS矢量水听器微结构加工集成 | 第43-61页 |
| ·部分关键工艺设计 | 第44-49页 |
| ·多重应力集中区凹槽刻蚀 | 第44-45页 |
| ·压敏电阻条设计 | 第45-47页 |
| ·欧姆接触及金属互联线设计 | 第47-48页 |
| ·体硅刻蚀工艺设计 | 第48-49页 |
| ·十字梁微结构MEMS加工工艺流程设计 | 第49-53页 |
| ·十字梁微结构光刻掩膜版图设计 | 第53-56页 |
| ·纤毛式MEMS矢量水听器芯片一致性测试 | 第56-59页 |
| ·纤毛式MEMS矢量水听器芯片形貌测试 | 第56-58页 |
| ·纤毛式MEMS矢量水听器压敏电阻一致性测试 | 第58-59页 |
| ·纤毛与十字梁微结构集成 | 第59-60页 |
| ·本章总结 | 第60-61页 |
| 4 纤毛式MEMS矢量水听器芯片封装集成 | 第61-79页 |
| ·纤毛式MEMS矢量水听器芯片封装模型提出 | 第61-62页 |
| ·有限元仿真透声帽的声学性能 | 第62-69页 |
| ·固定约束对透声帽透声性能仿真 | 第62-66页 |
| ·不同几何尺寸的透声帽透声性能仿真 | 第66页 |
| ·“桔瓣”式封装结构提出及有限元建模仿真 | 第66-68页 |
| ·不同材质的透声帽透声性能仿真 | 第68-69页 |
| ·微型导流罩设计 | 第69-71页 |
| ·低噪声信号提取电路设计 | 第71-74页 |
| ·纤毛式MEMS矢量水听器组装集成 | 第74-77页 |
| ·纤毛式MEMS矢量水听器芯片隔振支座研制 | 第74-76页 |
| ·纤毛式MEMS矢量水听器封装集成流程 | 第76-77页 |
| ·本章总结 | 第77-79页 |
| 5 纤毛式MEMS矢量水听器室内性能测试 | 第79-91页 |
| ·灵敏度测试 | 第79-84页 |
| ·纤毛式MEMS矢量水听器裸芯片灵敏度测试 | 第81-82页 |
| ·纤毛式MEMS矢量水听器透声帽封装后灵敏度测试 | 第82-84页 |
| ·指向性测试 | 第84-86页 |
| ·纤毛式MEMS矢量水听器量程测量 | 第86-88页 |
| ·纤毛式MEMS矢量水听器抗振动性能测试 | 第88-89页 |
| ·本章总结 | 第89-91页 |
| 6 纤毛式MEMS矢量水听器湖、海试性能测试 | 第91-105页 |
| ·微型导流罩流激噪声抑制能力测试 | 第91-96页 |
| ·不同材料的微型导流罩对纤毛式MEMS矢量水听器性能的影响 | 第91-92页 |
| ·典型使用环境下微型导流罩抑制流激噪声能力测试 | 第92-96页 |
| ·纤毛式MEMS矢量水听器在不同流速水域的流激噪声测试 | 第93-94页 |
| ·不同材料的微型导流罩抑制流激噪声能力比对 | 第94-95页 |
| ·声信号测试 | 第95-96页 |
| ·纤毛式MEMS矢量水听器新安江湖试 | 第96-100页 |
| ·灵敏度测试 | 第98-99页 |
| ·指向性测试 | 第99-100页 |
| ·纤毛式MEMS矢量水听器海试 | 第100-103页 |
| ·本章总结 | 第103-105页 |
| 7 总结与展望 | 第105-109页 |
| ·本文工作总结 | 第105-106页 |
| ·后续工作展望 | 第106-109页 |
| 参考文献 | 第109-115页 |
| 致谢 | 第115-117页 |
| 攻读博士期间发表的学术论文和参加科研情况 | 第117-119页 |