| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| ·研究背景及意义 | 第11-12页 |
| ·国内外发展现状 | 第12-17页 |
| ·国内外微进给工作台发展现状 | 第12-14页 |
| ·精密光栅测量系统研究现状 | 第14-15页 |
| ·误差测量及补偿方法研究现状 | 第15-17页 |
| ·课题来源 | 第17页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第17-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第二章 差动精密工作台总体设计 | 第20-36页 |
| ·差动精密工作台系统整体设计 | 第20-29页 |
| ·差动运动工作原理分析 | 第20-21页 |
| ·差动系统总体设计 | 第21-24页 |
| ·差动精密工作台传动系统设计 | 第24-26页 |
| ·差动精密工作台控制系统设计 | 第26-29页 |
| ·差动式精密工作台软件系统设计 | 第29-32页 |
| ·差动运动程序设计 | 第29-31页 |
| ·差动工作台系统模块设计 | 第31-32页 |
| ·差动工作台运动程序设计研究 | 第32-35页 |
| ·差动系统程序设计 | 第32-34页 |
| ·差动系统辅助功能程序设计 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 差动精密系统误差研究 | 第36-47页 |
| ·滚珠丝杠传动系统误差分析 | 第36-40页 |
| ·滚珠丝杠副误差规律 | 第36-38页 |
| ·滚珠丝杠误差分析 | 第38-40页 |
| ·精密光栅误差因素分析 | 第40-42页 |
| ·精密光栅测量系统原理 | 第40-41页 |
| ·精密光栅副误差分析 | 第41-42页 |
| ·差动工作台运动系统误差分析 | 第42-46页 |
| ·差动运动系统动、静态特性分析 | 第42-43页 |
| ·差动工作台定位误差分析 | 第43-44页 |
| ·差动工作台摩擦误差分析 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 差动精密系统误差补偿方法分析 | 第47-59页 |
| ·滚珠丝杠误差补偿方法分析 | 第48-53页 |
| ·滚珠丝杠误差补偿原理 | 第48-49页 |
| ·滚珠丝杠误差补偿方法分析 | 第49-53页 |
| ·精密光栅测量方法的补偿方法分析 | 第53-55页 |
| ·精密光栅测量系统误差研究 | 第53-54页 |
| ·精密光栅测量系统误差补偿方法研究 | 第54-55页 |
| ·差动工作台误差补偿方法分析 | 第55-58页 |
| ·摩擦误差补偿方法分析 | 第55-56页 |
| ·定位误差补偿方法分析 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 智能补偿方法研究 | 第59-72页 |
| ·智能补偿方法实验研究 | 第59-63页 |
| ·伺服电机运动实验误差分析 | 第59-60页 |
| ·滚珠丝杠运动实验误差分析 | 第60-63页 |
| ·差动精密工作台误差智能补偿方法的研究 | 第63-71页 |
| ·BP神经网络技术 | 第64-66页 |
| ·BP神经网络算法的改进 | 第66-67页 |
| ·差动系统神经网络建模研究 | 第67-70页 |
| ·智能补偿实验结果与分析 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 总结与展望 | 第72-74页 |
| ·论文成果总结 | 第72-73页 |
| ·研究展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及取得的相关科研成果 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |