| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| ·课题研究背景和意义 | 第9-11页 |
| ·极紫外光刻光源技术 | 第11-16页 |
| ·极紫外光刻技术的回顾 | 第11-13页 |
| ·极紫外光刻光源的发展 | 第13-16页 |
| ·毛细管气体放电EUV光刻技术 | 第16-19页 |
| ·课题研究的内容 | 第19-21页 |
| 第2章 Xe等离子体极紫外辐射时间特性分析 | 第21-30页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·Xe XI等离子体产生13.5nm极紫外辐射的能级跃迁 | 第21-22页 |
| ·雪耙模型理论与Xe等离子体Z-箍缩过程 | 第22-27页 |
| ·雪耙模型对于等离子体轴向箍缩过程的描述 | 第22-24页 |
| ·Xe等离子体Z-箍缩过程与极紫外辐射光的时间特性分析 | 第24-27页 |
| ·主要放电参数对等离子体电子温度的影响 | 第27-29页 |
| ·放电通道内径长度对等离子体电子温度的影响 | 第28页 |
| ·气体气压对等离子体电子温度的影响 | 第28-29页 |
| ·放电电压和电场对等离子体电子温度的影响 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 极紫外光刻光源装置介绍及光谱测量 | 第30-43页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·装置介绍 | 第30-39页 |
| ·电源系统 | 第31-34页 |
| ·控制系统 | 第34-35页 |
| ·气体放电系统 | 第35-36页 |
| ·极紫外辐射光探测系统 | 第36-39页 |
| ·Xe等离子体极紫外辐射光光谱测量与分析 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 Xe等离子体极紫外辐射实验研究 | 第43-56页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·Xe等离子体极紫外辐射的光谱特性 | 第43-47页 |
| ·工作气体流量对极紫外辐射谱线强度影响的实验研究 | 第43-45页 |
| ·主脉冲放电电流幅值对极紫外辐射谱线强度影响的实验研究 | 第45-47页 |
| ·预主脉冲电源联合放电对极紫外辐射光强度影响的实验研究. | 第47-48页 |
| ·混合气体对极紫外辐射光强度影响的实验研究. | 第48-54页 |
| ·混合气体对于带宽内13.511m辐射光强度的影响 | 第48-52页 |
| ·掺入He气对于Xe高价离子态的影响 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 结论 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
