| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 1 绪论 | 第12-22页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·铜铟镓硒薄膜太阳能电池 | 第13-16页 |
| ·太阳能电池的工作原理及性能参数 | 第16-17页 |
| ·CIGS 薄膜的制备 | 第17-19页 |
| ·磁控溅射镀膜影响因素 | 第19-21页 |
| ·本课题的研究意义与内容 | 第21-22页 |
| 2 CIGS 薄膜的制备与表征 | 第22-26页 |
| ·磁控溅射实验设备介绍 | 第22页 |
| ·衬底的选择与清洗 | 第22-23页 |
| ·CIGS 薄膜的制备 | 第23页 |
| ·CIGS 薄膜的检测与表征 | 第23-26页 |
| ·CIGS 薄膜形貌分析与表征 | 第23-24页 |
| ·CIGS 能谱分析与表征 | 第24页 |
| ·CIGS X 射线衍射分析与表征 | 第24页 |
| ·四探针测试仪分析与表征 | 第24-25页 |
| ·太阳能光谱响应分析与表征 | 第25-26页 |
| 3 磁控溅射法制备 CIGS 薄膜的研究 | 第26-41页 |
| ·衬底温度对 CIGS 薄膜的影响 | 第26-29页 |
| ·CIGS 薄膜的组织形貌分析 | 第26-27页 |
| ·CIGS 薄膜断面组织形貌分析 | 第27-28页 |
| ·CIGS 薄膜的 XRD 物相分析 | 第28-29页 |
| ·退火温度对 CIGS 薄膜（衬底温度为室温）的影响 | 第29-32页 |
| ·CIGS 薄膜的 XRD 物相分析 | 第29-30页 |
| ·退火温度对 CIGS 薄膜表面形貌的影响 | 第30-31页 |
| ·CIGS 薄膜表面气泡处的 EDS 能谱分析 | 第31-32页 |
| ·经 400℃退火不同衬底温度溅射 CIGS 薄膜的对比 | 第32-34页 |
| ·不同温度溅射 400℃退火的薄膜表面形貌 | 第32-33页 |
| ·不同温度溅射 400℃退火 XRD 物相分析 | 第33-34页 |
| ·不同功率溅射沉积 CIGS 薄膜 | 第34-35页 |
| ·CIGS 薄膜制备的分析与讨论 | 第35-40页 |
| ·CIGS 材料特性 | 第36-37页 |
| ·影响 CIGS 吸收层薄膜性能的主要因素 | 第37-38页 |
| ·CIGS 薄膜的结构和形貌的分析 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 磁控溅射制备 CdS 薄膜 | 第41-44页 |
| 5 磁控溅射法制备 ZnO 薄膜 | 第44-45页 |
| 6 结论 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 致谢 | 第49页 |