| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| CONTENTS | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-19页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第13-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-17页 |
| ·静压气浮导轨技术 | 第14-15页 |
| ·直线驱动控制技术 | 第15-16页 |
| ·二维轮廓误差精度研究 | 第16-17页 |
| ·课题来源、主要研究内容和特色 | 第17-19页 |
| ·课题来源 | 第17页 |
| ·本课题主要研究的内容 | 第17-18页 |
| ·本课题的研究特色 | 第18-19页 |
| 第二章 静压气浮导轨承载力分析和实验研究 | 第19-33页 |
| ·气浮导轨研究的理论基础 | 第19-22页 |
| ·气体静压润滑理论 | 第19-21页 |
| ·气体润滑的分类 | 第21页 |
| ·气浮导轨特点和相关的性能指标 | 第21-22页 |
| ·静压气浮导轨的结构 | 第22-24页 |
| ·静压气浮导轨的流体运动特性分析 | 第24-29页 |
| ·仿真分析流程介绍 | 第24-25页 |
| ·静压气浮导轨模型的建立和网格划分 | 第25-26页 |
| ·模型假设和边界条件设定 | 第26页 |
| ·仿真结果与分析 | 第26-29页 |
| ·实验设计与分析 | 第29-31页 |
| ·实验设计和原理 | 第29-31页 |
| ·实验结果与分析 | 第31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 二维直线驱动气浮平台控制系统建模和轮廓误差分析 | 第33-52页 |
| ·二维直线驱动式气浮平台的单轴直线电机数学模型 | 第33-38页 |
| ·直线电机的结构和运行原理 | 第33-34页 |
| ·直线电机的数学模型 | 第34-36页 |
| ·永磁直线同步电机解耦方程 | 第36-38页 |
| ·直线驱动气浮平台单轴控制系统建模和仿真分析 | 第38-42页 |
| ·直线电机单轴控制结构设计 | 第38-40页 |
| ·气浮平台单轴控制系统控制参数对响应特性的影响 | 第40-42页 |
| ·二维直线驱动式气浮平台的轮廓误差研究 | 第42-50页 |
| ·直线电机运动轮廓误差建模 | 第42-44页 |
| ·两轴独立控制时的轮廓误差分析 | 第44-46页 |
| ·交叉耦合控制器的研究 | 第46-47页 |
| ·两轴联合控制轮廓误差分析 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 二维直线驱动气浮平台机电联合运动仿真分析 | 第52-66页 |
| ·ADAMS/MATLAB联合仿真技术介绍 | 第52-54页 |
| ·二维龙门式气浮平台机电联合仿真建模 | 第54-58页 |
| ·二维直线驱动式气浮平台机械系统建模 | 第54-55页 |
| ·直线驱动式静压气浮平台ADAMS模型边界条件的确定 | 第55-57页 |
| ·二维龙门式直线驱动气浮平台的机电联合仿真模型建立 | 第57-58页 |
| ·直线驱动式气浮平台运动学仿真分析 | 第58-65页 |
| ·单轴运动路线规划设计 | 第58-60页 |
| ·单轴直线驱动气浮平台仿真分析结果 | 第60-63页 |
| ·两轴联合仿真分析结果 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 二维气浮运动平台的定位精度测试补偿和二维轮廓误差实验研究 | 第66-82页 |
| ·激光线性测长的原理 | 第66-67页 |
| ·测试平台的搭建和调试 | 第67-68页 |
| ·直线定位精度的测试和分析 | 第68-72页 |
| ·直线定位精度测试的前期准备 | 第68-69页 |
| ·定位精度的测量与分析 | 第69-71页 |
| ·采用激光尺作反馈时的定位精度 | 第71-72页 |
| ·直线定位精度的误差补偿和分析 | 第72-74页 |
| ·误差补偿实验结果分析 | 第74-75页 |
| ·二维轮廓精度的测量和分析 | 第75-80页 |
| ·QC-10球杆仪介绍 | 第75-76页 |
| ·球杆仪实验平台搭建 | 第76-77页 |
| ·实验测试方法和步骤 | 第77-78页 |
| ·数据的采集和分析 | 第78-80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 总结与展望 | 第82-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 作者攻读硕士期间发表的论文 | 第89-91页 |
| 致谢 | 第91页 |
