激光背向湿式蚀刻加工蓝宝石过程中光诱导气泡和微射流流场分布研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 符号说明 | 第9-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-27页 |
| ·研究意义 | 第18-20页 |
| ·国内外研究现状 | 第20-25页 |
| ·激光背向湿式蚀刻加工工艺及机理研究 | 第20-21页 |
| ·激光诱导气泡的实验研究 | 第21-23页 |
| ·激光诱导气泡的模拟仿真研究 | 第23-25页 |
| ·课题来源 | 第25页 |
| ·主要研究内容 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第二章 方案设计与实验装置 | 第27-35页 |
| ·方案设计 | 第27-28页 |
| ·实验装置 | 第28-31页 |
| ·激光器 | 第29-30页 |
| ·高速摄影仪 | 第30页 |
| ·检测仪器 | 第30-31页 |
| ·实验材料的属性 | 第31-34页 |
| ·蓝宝石 | 第31-33页 |
| ·CuSO_4溶液 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 激光诱导空泡动态特性的实验研究 | 第35-53页 |
| ·实验参数的确定 | 第35-38页 |
| ·脉冲重复频率的选择 | 第35-36页 |
| ·液层高度的选择 | 第36-37页 |
| ·脉冲激光能量密度的的选择 | 第37-38页 |
| ·液体浓度的选择 | 第38页 |
| ·液层高度对定点加工过程气泡动态特性的影响 | 第38-44页 |
| ·不同液层高度下激光诱导气泡直径变化规律 | 第38-41页 |
| ·液层高度H=10mm时气泡动态特性 | 第41页 |
| ·液层高度H=1.25 mm时气泡动态特性 | 第41-42页 |
| ·液层高度H=0.45mm时气泡动态特性 | 第42-43页 |
| ·微射流流场的观测 | 第43-44页 |
| ·激光能量密度对气泡动态特性的影响 | 第44-47页 |
| ·激光能量密度对空泡直径的影响规律 | 第44-46页 |
| ·不同激光能量密度下气泡高速摄影图像 | 第46-47页 |
| ·空泡脉动能量与激光能量的关系 | 第47页 |
| ·溶液浓度对气泡动态特性的影响 | 第47-50页 |
| ·不同溶液浓度对空泡直径的影响规律 | 第47-49页 |
| ·不同溶液浓度下气泡高速摄影图像 | 第49-50页 |
| ·激光线性扫描加工流场分布 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第四章 激光诱导空泡动态特性的理论研究 | 第53-73页 |
| ·FLUENT软件和VOF模型介绍 | 第53-55页 |
| ·FLUENT软件 | 第53-55页 |
| ·VOF模型 | 第55页 |
| ·理论模型 | 第55-63页 |
| ·控制方程 | 第55-58页 |
| ·建模前的假设条件 | 第58页 |
| ·物理模型及网格划分 | 第58-59页 |
| ·边界条件设定 | 第59页 |
| ·初始值的确定 | 第59-61页 |
| ·层流模型及求解方法 | 第61-63页 |
| ·仿真不同液层高度下气泡动态特性结果 | 第63-66页 |
| ·液层高度H=10mm时气泡动态特性 | 第63页 |
| ·液层高度H=3.75mm时气泡动态特性 | 第63-64页 |
| ·液层高度H=2.5mm时气泡动态特性 | 第64-65页 |
| ·液层高度H=1.25mm时气泡动态特性 | 第65-66页 |
| ·液层高度为0.45mm时气泡动态特性 | 第66页 |
| ·仿真不同液层高度下流场分布结果 | 第66-69页 |
| ·液层高度H=10mm时流场分布 | 第67页 |
| ·液层高度H=0.45mm时流场分布 | 第67-68页 |
| ·不同液层高度下流场分布变化规律 | 第68-69页 |
| ·仿真不同液层高度下压强变化结果 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 第五章 验证实验及微射流增强效应机理研究 | 第73-91页 |
| ·样件的制备 | 第73页 |
| ·实验结果与讨论 | 第73-79页 |
| ·扫描次数对加工的影响 | 第73-76页 |
| ·溶液浓度对加工的影响 | 第76-78页 |
| ·扫描速度对加工的影响 | 第78-79页 |
| ·增强激光背向湿式蚀刻蓝宝石作用效果机理分析 | 第79-89页 |
| ·工件表面-液体接触面温度分布 | 第79-81页 |
| ·液体中激光诱导光化学反应 | 第81-82页 |
| ·蚀刻加工过程及机理 | 第82-83页 |
| ·EDS检测 | 第83-85页 |
| ·增强蚀刻作用效果过程及机理 | 第85-87页 |
| ·蚀刻微流道 | 第87-89页 |
| ·本章小结 | 第89-91页 |
| 总结与展望 | 第91-93页 |
| 参考文献 | 第93-100页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第100-102页 |
| 致谢 | 第102页 |
