| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·课题来源 | 第7页 |
| ·多光束激光干涉图案相移控制的发展状况 | 第7-11页 |
| ·研究目的和意义 | 第11-12页 |
| ·研究内容与结构安排 | 第12-14页 |
| 第二章 激光干涉基本原理 | 第14-17页 |
| ·激光干涉纳米光刻简介 | 第14-15页 |
| ·激光干涉原理 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 第三章 移相定位系统 | 第17-22页 |
| ·移相定位系统的概述 | 第17-18页 |
| ·移相定位系统的原理 | 第18-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第四章 基于相关运算的干涉图形相移运算 | 第22-24页 |
| ·相关运算 | 第22页 |
| ·相关运算的方法求相位差的原理 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第五章 实验结果及分析 | 第24-48页 |
| ·两光束干涉光刻系统 | 第24-29页 |
| ·四光束干涉光刻系统 | 第29-44页 |
| ·误差讨论 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第六章 结论 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 发表论文及申请专利 | 第52页 |